Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega SiC keraamilised komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub vahvlitöötlemisseadmete kulumaterjalidest, nagu ränikarbiidist vahvlipaat, konsoollabad, torud jne Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitus või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) konstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
Konsoolne mõla →
Konsooli mõla on oluline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti difusiooni- või LPCVD-ahjudes selliste protsesside ajal nagu difusioon ja RTP.
Protsessi toru →
Protsessitoru on ülioluline komponent, mis on spetsiaalselt loodud erinevates pooljuhtide töötlemise rakendustes, nagu RTP, difusioon.
Vahvlipaadid →
Vahvelpaati kasutatakse pooljuhtide töötlemisel, see on hoolikalt välja töötatud, et tagada õrnade vahvlite ohutu hoidmine tootmise kriitilistes etappides.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorexil on ka keraamilised tooted alumiiniumoksiidist (Al2O3), räninitriidist (Si3N4), alumiiniumnitriidist (AIN), tsirkooniumoksiidist (ZrO2), komposiitkeraamikast jne.
Semicorex Alumina Ceramic Robotic Arm, tuntud ka kui vahvlite käsitsemise keraamiline robotkäsi või keraamiline ränivahvli käsitsemiskahvel, on suure jõudlusega pooljuhtseadmete komponent. Selle disain võtab arvesse pooljuhtide valmistamise rangeid nõudeid. Kõrge temperatuurikindluse, kulumiskindluse, keemilise stabiilsuse ja suurepäraste elektriisolatsiooniomadustega on alumiiniumoksiidi keraamiline vars ülemaailmses pooljuhtide tootmises asendamatul kohal. Meie, Semicorex, oleme pühendunud suure jõudlusega alumiiniumoksiidi keraamilise robotkäe tootmisele ja tarnimisele, mis ühendavad kvaliteedi kulutõhususega.**
Loe rohkemSaada päringSemicorexi SiC difusioonahju toru täiustatud materjaliomadused, sealhulgas kõrge paindetugevus, suurepärane oksüdatsiooni- ja korrosioonikindlus, kõrge kulumiskindlus, madal hõõrdetegur, suurepärased mehaanilised omadused kõrgel temperatuuril ja ülikõrge puhtus, muudavad selle pooljuhtide tööstuses asendamatuks. , eriti difusioonahjude jaoks. Meie, Semicorex, oleme pühendunud suure jõudlusega ränidioksiidi difusioonahju torude tootmisele ja tarnimisele, mis ühendavad kvaliteedi kuluefektiivsusega.**
Loe rohkemSaada päringKvaliteetsete materjaliomadustega Semicorex SiC Diffusion Boat esindab optimaalset funktsionaalsust laia tööparameetrite spektri puhul: kõvadus, vastupidavus ning termiline ja keemiline vastupidavus jne. See materjalivalik on saasteohu vähendamisel, vahvlite kaitsmisel ja vastupidavuse tagamisel ülioluline. pooljuhtide tootmisprotsessides valitsevad nõudlikud tingimused. Meie, Semicorex, oleme pühendunud suure jõudlusega ränidioksiidi difusioonpaati tootmisele ja tarnimisele, mis ühendab kvaliteedi kulutõhususega.**
Loe rohkemSaada päringSemicorex ICP söövitusplaat on täiustatud, suure jõudlusega komponent, mis on spetsiaalselt loodud pooljuhtrakenduste jaoks ja mis on valmistatud ränikarbiidi (SiC) materjalist. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas*.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi SiC reflektor on erinevates pooljuhtide tootmisprotsessides keskne element. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas*.
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC keraamilised soojusülekandeplaadid, mis põhinevad SiC kui esmasel materjalil, läbivad kõrgel temperatuuril paagutamise 2250 °C juures, mille tulemuseks on väga klaasistunud nullpoorsusega tihe keraamiline korpus, mille SiC sisaldus on ≥99,3%. Nende paindetugevusega ≥410 MPa ja soojusjuhtivusega 140 W/m.k on need keraamilised materjalid ainsad materjalid, mis suudavad pooljuhtide tööstuses vastu pidada tugevate hapete, näiteks vesinikfluoriidhappe (HF) ja väävelhappe (H2SO4) korrosioonile. Meie, Semicorex, oleme pühendunud suure jõudlusega SiC keraamiliste soojusülekandeplaatide tootmisele ja tarnimisele, mis ühendavad kvaliteedi kuluefektiivsusega. **
Loe rohkemSaada päring