Sic vertikaalsed paadid

Semicorex sic vertikaalsed paadid on konstrueeritud vahvli kandjad, mis on konstrueeritud ja toodetud, et tagada vertikaalse ahju pooljuhtide töötlemiseks kõrgeim termiline, mehaaniline ja keemiline stabiilsus. Koostatud kõrgpuhustusestränikarbiid, Usume, et need on parim tugevuse, vastupidavuse ja puhtuse tasakaal väga arenenud vahvli soojustöötluseks, mida nimetatakse oksüdatsiooni, difusiooni, LPCVD ja vertikaalse ahjusüsteemide lõõmutamisena.

Vertikaalse ahju töötlemiskeskkonnad vajavad vahvli tugisüsteemi, mis talub korduvat kokkupuudet kõrgel temperatuuril, sageli üle 1200 ° C, ja jääda dimen-siialt stabiilseks ilma saastumisprobleemideta. SIC vertikaalsed paadid silma paistavad nendes olukordades oma vastupidavuses, kuna rekristalliseeritud või CVD räni karbiidi sisemised mehaanilised ja termilised omadused. Nende äärmiselt madal soojuspaisumistegur tagab kiire termilise tsükli tõttu minimaalse lõime või moonutuse. Lisaks pakub kõrge soojusjuhtivus kõigi vahvlite suurimat kohalikku temperatuuri homogeensust, mis on kriitilise tähtsusega kihi paksuse, dopinguprofiilide ja elektrilise jõudluse korral vahvlivahelise konsistentsi jaoks; Pooljuhtide tööstuse suure mahuga tootmise olulised aspektid.

Võrreldes traditsiooniliste kvartsilaevadega, pakuvad SIC vertikaalsed paadid suurepärast mehaanilist tugevust ja pikendatud kasutusaega. Quartz kipub aja jooksul muutuma rabedaks ja devitrifitseerima, eriti agressiivsete ahjude keemiate puhul, mis põhjustab kõrgemaid asenduskulusid ja võimalikke tootmise katkestusi. Seevastu räni karbiid säilitab oma terviklikkuse isegi pärast pikaajalist kokkupuudet söövitavate gaaside nagu kloor, HCl või ammoniaak, mis on tavalised erinevates difusiooni- ja LPCVD -protsessides. Selle erakordne kulumis- ja oksüdatsiooniresistentsus vähendab oluliselt osakeste genereerimist, aidates kaitsta vahvli pindu saastumise ja defektide moodustumise eest.

SIC vertikaalsed paadid pakuvad olulist eelist ka üliõrga töötlemise osas. Kõrgpuhustusega SIC-materjali töödeldakse range hoolsusega, et vähendada tuvastatavaid jälitusi saastuvaid metalle, mis võivad häirida pooljuhtide seadmete tööomadusi. SIC vertikaalsed paadipinnad on hästi viimistletud parempoolsete omadustega, mis minimeerivad mikroosakeste varjutamise võimalust. SIC -pinnad on keemiliselt inertsed ja ei reageeri protsessigaasidega ja on seetõttu vähem saastumisele altid. Sellega seoses sobivad SIC vertikaalsed paadid hästi rea esiotsa (FEOL) ja liini (BEOL) vahvli töötlemistoimingute tagaosa jaoks.

SIC vertikaalsed paadid pakuvad ka disaini paindlikkust. Iga vertikaalset paati saab disainispetsiifiliseks, et mahutada mitu vahvli läbimõõtu (150 mm, 200 mm või 300 mm vahvlid) ning pesaarvu ja vahekauguse saab kasutada protsessinõuete täitmiseks. Täpne töötlemine ja mõõtmete kontroll võimaldavad vahvli õiget joondamist ja vahvlit toetada mikrokriipsude või pingepragude tõenäosuse minimeerimist laadimise, töötlemise ja mahalaadimise ajal. Samuti, kui konkreetse protsessi jaoks on vaja kõrgemat temperatuuri ühtsust ja / või vähem termilist massi, võib sic -vertikaalsete paadi konfiguratsioonidesse lisada optimeeritud geomeetria ja pesakujundused, ilma et see ohverdaks mingeid mehaanilisi omadusi.

Teine eelis on hooldus ja töötõhusus. Jäik ehitusSicVertikaalsed paadid vähendavad asendusaega ja sagedust, minimeerides sellega seisakuid või omandimaksu. SIC termiline löögikindlus võimaldab kuumutamist ja jahutamist lühemaid tsüklid, et saada tootmisliinidel suurem läbilaskevõime. SIC vertikaalsete paatide hooldus või puhastamine on samuti väga lihtne; Materjal võib taluda kõige tavalisemaid niiskeid või keemilisi puhastusprotsesse, mis on levinud pooljuhtide FAB-des, näiteks hapete keemiline puhastamine ja kõrge temperatuuriga küpsetamine.

Sellel keeruka pooljuhtide valmistamise tänapäevasel ajastul, kus saastumise kontrollimine, saastekontroll ja stabiilsus on protsessis, pakuvad SIC vertikaalsed paadid tõelist tehnoloogilist eelist. Nad käsitlevad hästi vertikaalse ahju rakenduste füüsilisi ja keemilisi väljakutseid ning aitavad kaasa protsessi üldisele optimeerimisele, pakkudes vahvli terviklikkust, järjepidevaid tulemusi ja seadmete pikemat eluiga.