Semicorex on teie partner täiustatud grafiidikomponentide ja -koostude jaoks, et toetada teie pooljuhtide töötlemisseadmete suuremat läbilaskevõimet ja paremat tootlikkust. Meie materjalieksperdid on valmis teiega koostööd tegema, et töötada välja teie vahvlite käitlemise, kuumutamise ja töötlemise nõuete jaoks optimaalne õige lahendus. Meie keraamilisel otsaefektoril on hea hinnaeelis ja see hõlmab paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Ceramic End Effector on roboti käsi, mis liigutab pooljuhtplaate vahvlitöötlusseadmetes ja kandurites olevate positsioonide vahel. Lõppefektor peab olema mõõtmete täpsusega ja termiliselt stabiilne, samal ajal kui sellel peab olema sile, kulumiskindel pind, et plaate ohutult käsitseda ilma seadmeid kahjustamata või tahkeid osakesi tekitamata. Meie kõrge puhtusastmega ränikarbiidist keraamiline otsaefektor tagab suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse, et tagada epikihi ühtlane paksus ja vastupidavus, ning vastupidav keemiline vastupidavus.
Semicorexis keskendume kvaliteetse ja kulutõhusa keraamilise otsaefektori pakkumisele, seame esikohale klientide rahulolu ja pakume kulutõhusaid lahendusi. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks, pakkudes kvaliteetseid tooteid ja erakordset klienditeenindust.
Keraamilise otsaefektori parameetrid
CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid |
||
SiC-CVD omadused |
||
Kristalli struktuur |
FCC β faas |
|
Tihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Keemiline puhtus |
% |
99.99995 |
Soojusvõimsus |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Youngi moodul |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Soojuspaisumine (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
Kõrge puhtusastmega keraamilise otsaefektori omadused
● Kõrge puhtusastmega SiC kaetud grafiit
● Suurepärane kuumakindlus ja termiline ühtlus
● Peen SiC kristallkattega sileda pinna saamiseks
● Kõrge vastupidavus keemilise puhastuse vastu
● Materjal on disainitud nii, et ei tekiks pragusid ega kihistumist.