Fookusrõngas või servarõngad on loodud söövituse ühtluse parandamiseks ümber vahvli serva või perimeetri.
Semicorexi fookusrõngad on kaetud ränikarbiidiga keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) abil, mis tagavad suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse tagamiseks ning vastupidava keemilise vastupidavuse, mis on ehitatud plasmasöövitamise või kuivsöövitamise protsessis äärmuslikes keskkondades vastu pidama. .
Semicorex SiC Focus Ring on kõrge puhtusastmega ränikarbiidist rõngaskomponent, mis on loodud pooljuhtide tootmisel plasmajaotuse ja vahvliprotsessi ühtluse optimeerimiseks. Semicorexi valimine tähendab ühtlase kvaliteedi, täiustatud materjalitehnoloogia ja usaldusväärse jõudluse tagamist, mida usaldavad juhtivad pooljuhtide tootjad kogu maailmas.*
Loe rohkemSaada päring