Fookusrõngas või servarõngad on loodud söövituse ühtluse parandamiseks ümber vahvli serva või perimeetri.
Semicorexi fookusrõngad on kaetud ränikarbiidiga keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) abil, mis tagavad suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse tagamiseks ning vastupidava keemilise vastupidavuse, mis on ehitatud plasmasöövitamise või kuivsöövitamise protsessis äärmuslikes keskkondades vastu pidama. .