Professionaalse tootmisena soovime teile pakkuda pooljuhtkomponente. Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega ränidioksiidiga kaetud komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub grafiidist kulumaterjalidest kristallide kasvatamise kuumade tsoonide jaoks (soojendid, tiigli sustseptorid, isolatsioon) kuni suure täpsusega grafiitkomponentideni vahvlite töötlemise seadmete jaoks, nagu ränikarbiidiga kaetud grafiidisusseptorid Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitamine või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga (SiC) kaetud grafiitkonstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, et tagada epikihi ühtlane paksus ja vastupidavus.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
End Effector →
Lõppefektor on roboti käsi, mis liigutab pooljuhtplaate vahvlitöötlusseadmete ja kandjate positsioonide vahel.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kõrge puhtusastmega SiC-kattega, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorexi vahvli serva lihvimine on keraamiline ketas, mis on valmistatud kõrge puhtusega valgest alumiiniumoksiidist, mis on mõeldud vahvli serva lihvimiseks pooljuhtide tootmisel. Semicorexi valimine tagab parema materjali kvaliteedi, täpsuseehituse ja usaldusväärse jõudluse, mis toetab kõige nõudlikumat vahvli töötlemiskeskkonda.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi poorsed alumiiniumoksiidi padrunid on mikropoorsed musta alumiiniumoksiidi vaakum, millel on 35–40% poorsusega, mis on mõeldud ühtlase imemise ja ohutu vahvli käitlemise tagamiseks pooljuhtide tootmisel. Semicorexi valimine tähendab usaldusväärset keraamikatehnikat, paremat materjali kvaliteeti ja järjepidevat jõudlust, mis kaitseb saagikust ja protsessi stabiilsust.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex AL2O3 vaakumkatted on mikropoorsed keraamilised adsorptsiooniseade, mis on valmistatud mustast alumiiniumoksiidist, poorsusega 35–40%, mis on spetsiaalselt loodud vahvli käitlemiseks pooljuhtrakendustes. Semicorexi valimine tähendab kasu täiustatud keraamikatehnoloogiast, täppisitehnikast ja usaldusväärsetest toodete kvaliteedist, mis tagab stabiilse jõudluse nõudlikes puhtaruumides.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi alumiiniumoksiidi keraamikavars on kõrge puhtusega robotkomponent, mis on mõeldud täpseks ja saastumisvaba vahvli käitlemiseks pooljuhtide tootmisel. Semicorexi valimine tagab mitte ainult täiustatud alumiiniumoksiidi keraamilise materjali kvaliteedi, vaid ka täppismeisterlikkuse, mis tagab vastupidavuse, puhtuse ja usaldusväärsuse kriitilises protsessikeskkonnas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex SIC sisselaskerõngad on suure jõudlusega ränikarbiidi komponendid, mis on valmistatud pooljuhtide töötlemisseadmete jaoks, pakkudes erakordset termilist stabiilsust, keemilist vastupidavust ja täpset töötlemist. Semicorexi valimine tähendab juurdepääsu usaldusväärsetele, kohandatud ja saastumisvabadele lahendustele, mida usaldavad juhtivad pooljuhtide tootjad.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SIC Arm on kõrge puhtusega räni karbiidi komponent, mis on ette nähtud vahvli täpseks käitlemiseks ja positsioneerimiseks pooljuhtide tootmisel. Semicorexi valimine tagab tasakaalustamata materjali usaldusväärsuse, keemilise vastupidavuse ja täpsustehnika, mis toetavad kõige nõudlikumaid pooljuhtide protsesse.*
Loe rohkemSaada päring