Professionaalse tootmisena soovime teile pakkuda pooljuhtkomponente. Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega ränidioksiidiga kaetud komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub grafiidist kulumaterjalidest kristallide kasvatamise kuumade tsoonide jaoks (soojendid, tiigli sustseptorid, isolatsioon) kuni suure täpsusega grafiitkomponentideni vahvlite töötlemise seadmete jaoks, nagu ränikarbiidiga kaetud grafiidisusseptorid Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitamine või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga (SiC) kaetud grafiitkonstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, et tagada epikihi ühtlane paksus ja vastupidavus.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
End Effector →
Lõppefektor on roboti käsi, mis liigutab pooljuhtplaate vahvlitöötlusseadmete ja kandjate positsioonide vahel.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kõrge puhtusastmega SiC-kattega, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorexi Half Moon Components on täpselt konstrueeritud grafiidi ja ränikarbiidiga kaetud reaktoriosad, mis on mõeldud kasutamiseks LPE-stiilis epitaksiaalsetes kasvukambrites. Need komponendid mängivad ülitähtsat rolli termilise ühtluse, gaasivoolu stabiilsuse ja protsesside puhtuse säilitamisel pooljuhtide tootmises kasutatavate kõrgtemperatuursete epitaksiaalsete sadestamisprotsesside ajal. Semicorex on spetsialiseerunud LPE kambristruktuuridega ühilduvate kohandatud reaktorikomponentide tootmisele, pakkudes kõrge jõudlusega lahendusi täiustatud epitaksiaaltöötlussüsteemidele kogu maailmas.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC Horizontal Furnace Tube on täiustatud kõrge temperatuuriga protsessikomponendid, mis on loodud pooljuhtide difusiooni-, oksüdatsiooni-, lõõmutamise ja termilise töötlemise süsteemide jaoks. Semicorex tarnib klientidele kogu maailmas suure jõudlusega ränikarbiidi horisontaalseid ahjutorusid, pakkudes usaldusväärseid pooljuhtkvaliteediga keraamilisi lahendusi kõrge temperatuuriga protsessiseadmetele ja täiustatud vahvlite tootmise rakendustele.*
Loe rohkemSaada päringSöövitamiseks mõeldud Semicorexi polü-Si välisrõngad on polü-räni materjalidest valmistatud täppistöödeldud rõngaosad. Spetsiaalselt täiustatud söövitusseadmete elektroodisüsteemide jaoks loodud Semicorexi polü-Si välisrõngad söövitamiseks võivad tõhusalt tagada söövitusprotsessi stabiilsuse. Semicorexi valimine tähendab, et saate söövitamiseks kvaliteetsed polü-Si välisrõngad, mis võivad suurendada vahvli saagikust ja töö efektiivsust.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi räni kõverad elektroodid on olulised ränikomponendid, mis toimivad ülitäpsetes pooljuhtide söövitusprotsessides nii ülemiste elektroodidena kui ka söövitusgaasikanalitena. Semicorexi räni kumerad elektroodid on ideaalsed lahendused söövitusenergiavälja optimeerimiseks, mida kasutatakse laialdaselt täiustatud pakendite (TSV, WLCSP) ja 3D-struktureeritud vahvlite söövitusseadmetes.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi polü-Si piludega rõngad on olulised rõngaosad, mis on valmistatud kõrge puhtusastmega polükristallilisest ränist. Neid kasutatakse laialdaselt ülitäpsetes pooljuhtide söövitusseadmetes, et täpselt reguleerida ja optimeerida protsessigaasi jaotust reaktsioonikambris. Valides Semicorexi, saate ideaalsed ränilahendused usaldusväärse kvaliteedi, kiire tarne ja läbimõeldud teeninduse tagamiseks.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi difusioonitorud on kõrge puhtusastmega ränikarbiidist õõnsad komponendid, mis toimivad pooljuhtide difusioonisüsteemide tuuma reaktsioonikambrina, võimaldades täpset temperatuuri reguleerimist ja stabiilset töötlemiskeskkonda. Semicorex pakub täiustatud SiC difusioonitorude lahendusi klientidele kogu maailmas, pakkudes kohandatavat disaini, ülitäpset tootmist ja usaldusväärset ülemaailmset tarnimist.*
Loe rohkemSaada päring