Professionaalse tootmisena soovime teile pakkuda pooljuhtkomponente. Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega ränidioksiidiga kaetud komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub grafiidist kulumaterjalidest kristallide kasvatamise kuumade tsoonide jaoks (soojendid, tiigli sustseptorid, isolatsioon) kuni ülitäpsete grafiidikomponentideni vahvlite töötlemise seadmete jaoks, nagu ränikarbiidiga kaetud grafiidisusseptorid Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitus või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga (SiC) kaetud grafiitkonstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse.
Kambri kaaned â
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
End Effector â
Lõppefektor on roboti käsi, mis liigutab pooljuhtplaate vahvlitöötlusseadmete ja kandjate positsioonide vahel.
Sisselaskerõngad â
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD seadmega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas â
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun â
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kõrge puhtusastmega SiC-kattega, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Difusioonahjude Semicorexi protsessitoru on pooljuhtseadmete valmistamisel kasutatav spetsiaalne komponent. See on loodud pakkuma kontrollitud keskkonda difusiooniprotsessidele, kus lisandid sisestatakse pooljuhtplaatidesse, et muuta nende elektrilisi omadusi. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSiC Process Tube on vahvlite töötlemiseks kuumtöötlemisel torukujuline reaktor. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex CVD-SiC dušipea tagab vastupidavuse, suurepärase soojusjuhtimise ja vastupidavuse keemilisele lagunemisele, muutes selle sobivaks valikuks nõudlikeks CVD-protsessideks pooljuhtide tööstuses. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringPlasmaseadmes materjalide söövitamiseks ja keemiliseks aurustamise-sadestamiseks (CVD) vahvlitel juhitakse protsessigaasid protsessikambrisse läbi CVD SiC-ga kaetud grafiidist dušipea. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi ränikarbiidist konsoollaba on spetsiaalne komponent, mida kasutatakse ahjudes mitmesuguste termilise töötlemise rakenduste jaoks. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSuure vahvli laadimisjõu ränikarbiidist SiC keraamiline konsoollaba sobib roboti automaatseks laadimis- ja käsitsemissüsteemiks, kuna sellel on stabiilne jõudlus, kõrgel temperatuuril mittedeformeeruv ja suur vahvli laadimisjõud. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päring