Gaasi sisselaskerõngaid kasutatakse vahvli serva ja perimeetri katmiseks, kaitstes kambri kriitilisi komponente, et luua puhas, inertne ja kaitstud keskkond ning pikendada nende kasutusiga sadestuskambrites, nii et need puutuvad sadestamise või vahvlite töötlemise ajal kokku plasma ja kõrge temperatuuriga. , nii et tugev plasma vastupidavus ja kõrge puhtus on vahvli lõpliku saagise jaoks kriitilise tähtsusega.
Semicorex CVD SiC-kattega rõngad, mis on loodud spetsiaalselt nende nõudlike epitaksiseadmete rakenduste jaoks.
Semicorex SIC sisselaskerõngad on suure jõudlusega ränikarbiidi komponendid, mis on valmistatud pooljuhtide töötlemisseadmete jaoks, pakkudes erakordset termilist stabiilsust, keemilist vastupidavust ja täpset töötlemist. Semicorexi valimine tähendab juurdepääsu usaldusväärsetele, kohandatud ja saastumisvabadele lahendustele, mida usaldavad juhtivad pooljuhtide tootjad.*
Loe rohkemSaada päring