Töötlemise ajal tuleb pooljuhtplaate kuumutada spetsiaalsetes ahjudes. Reaktor koosneb piklikest silindrilistest torudest, milles vahvlid asetsevad vahvlilaevadele etteantud, võrdsel kaugusel. Selleks, et kambris töötlustingimused säiliksid ja töötlemisseadmetest, vahvlipaatidest ja paljudest muudest plaatidest tekiks jäätmeid miinimumini. muud vahvlite töötlemisel kasutatavad seadmed on valmistatud sellisest materjalist nagu ränikarbiid (SiC).
Paadid, mis on laaditud töödeldavate vahvlite partiiga, on paigutatud pikkadele konsoolidega labadele, mille abil saab neid toruahjudesse ja reaktoritesse sisestada ja sealt välja võtta. Labad sisaldavad lamestatud kandeosa, millele saab paigutada ühe või mitu paati, ja pikka käepidet, mis on paigutatud lamestatud kandeosa ühte otsa ja mille abil saab laba käsitseda.
Konsoollaba puhul on soovitatav kasutada CVD SiC õhukese kihiga ümberkristalliseeritud ränikarbiidi, mis on kõrge puhtusastmega ja parim valik pooljuhtide töötlemise komponentide jaoks.
Semicorex võib pakkuda teenust vastavalt joonistele ja töökeskkonnale.
Semicorex SiC (ränikarbiidist) konsoolilaba on ülioluline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti difusiooni- või LPCVD-ahjudes (madalsurve keemilise aurustamise-sadestamise) selliste protsesside käigus nagu difusioon ja RTP (kiire termiline töötlemine). SiC konsoolilaba eesmärk on kanda pooljuhtplaate kindlalt protsessitoru sees mitmesuguste kõrge temperatuuriga protsesside ajal, nagu difusioon ja RTP. See on mõeldud vahvlite toetamiseks ja transportimiseks nende ahjude protsessitorus. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi ränikarbiidist konsoollaba on spetsiaalne komponent, mida kasutatakse ahjudes mitmesuguste termilise töötlemise rakenduste jaoks. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSuure vahvli laadimisjõu ränikarbiidist SiC keraamiline konsoollaba sobib roboti automaatseks laadimis- ja käsitsemissüsteemiks, kuna sellel on stabiilne jõudlus, kõrgel temperatuuril mittedeformeeruv ja suur vahvli laadimisjõud. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päring