Töötlemise ajal tuleb pooljuhtplaate kuumutada spetsiaalsetes ahjudes. Reaktor koosneb piklikest silindrilistest torudest, milles vahvlid asetsevad vahvlilaevadele etteantud, võrdsel kaugusel. Selleks, et kambris töötlustingimused säiliksid ja töötlemisseadmetest, vahvlipaatidest ja paljudest muudest plaatidest tekiks jäätmeid miinimumini. muud vahvlite töötlemisel kasutatavad seadmed on valmistatud sellisest materjalist nagu ränikarbiid (SiC).
Paadid, mis on laaditud töödeldavate vahvlite partiiga, on paigutatud pikkadele konsoolidega labadele, mille abil saab neid toruahjudesse ja reaktoritesse sisestada ja sealt välja tõmmata. Labad sisaldavad lamestatud kandeosa, millele saab paigutada ühe või mitu paati, ja pikka käepidet, mis on paigutatud lamestatud kandeosa ühte otsa ja mille abil saab laba käsitseda.
Konsoollaba puhul on soovitatav kasutada CVD SiC õhukese kihiga ümberkristalliseeritud ränikarbiidi, mis on kõrge puhtusastmega ja parim valik pooljuhtide töötlemise komponentide jaoks.
Semicorex võib pakkuda teenust vastavalt joonistele ja töökeskkonnale.
Semicorexi kõrge puhtusastmega SiC konsoolilaba on valmistatud kõrge puhtusastmega paagutatud SiC keraamikast, mis on pooljuhi horisontaalse ahju konstruktsiooniosa. Semicorex on kogenud ettevõte, mis tarnib pooljuhtide tööstuses SiC komponente.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC Ceramic Paddle on kõrge puhtusastmega konsoolkomponent, mis on loodud kõrge temperatuuriga pooljuhtahjude jaoks, mida kasutatakse peamiselt oksüdatsiooni- ja difusiooniprotsessides. Semicorexi valimine tähendab juurdepääsu täiustatud keraamilistele lahendustele, mis tagavad erakordse stabiilsuse, puhtuse ja vastupidavuse kriitiliste vahvlite käitlemise rakenduste jaoks.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC labad on kõrge puhtusastmega ränikarbiidist konsoolvars, mis on mõeldud vahvlite transportimiseks kõrge temperatuuriga oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes temperatuuril üle 1000 ℃. Semicorexi valimine tähendab erakordse materjalikvaliteedi, täppisehituse ja pikaajalise töökindluse tagamist, mida usaldavad juhtivad pooljuhttootjad.*
Loe rohkemSaada päring