SiC labad

Semicorexi SiC labad on vahvlikandjad, mis viivad vahvleid üle 1000 kraadi Celsiuse järgi kuumematesse ahjudesse. See on nende peamine eelis: kõrge puhtus, kõrge temperatuuri stabiilsus, et säilitada mehaaniline jäikus proovi transportimisel äärmuslikes keskkondades. Kõrge puhtusastmega materjalid on tõhusad selleks, et vältida metallide lisandite saastumist vahvliga; nii ka kõrge temperatuuri stabiilsusÜmberkristallitud, kuna see säilitab keemilise stabiilsuse töötlemistemperatuuridel, mis välistavad metallide lisandite või tahkete osakeste eraldumise vahvli saastumisest, tagades stabiilse vahvli saagise. Lõpukskonsoolsed labadühilduvad ka integreeritud vahvliedastussüsteemidega, vähendades veelgi sõltuvust inimestest ja suurendades läbilaskevõimet.

SiC labad on kanduri ainulaadne komponent, mis on mõeldud spetsiaalselt pooljuhtplaatide transportimiseks ja integreerimiseks partii töökoormusesse sellistes protsessides nagu kõrgel temperatuuril oksüdatsioon ja difusioon. Valmistatud kõrge puhtusastmegaränikarbiid (SiC)SiC labad tagavad termilise stabiilsuse, mehaanilise tugevuse ja keemilise vastupidavuse, et tagada stabiilne transport temperatuuril üle 1000 °C. SiC labad on vajalikud vahvlite töötlemiseks: need tagavad, et hapraid substraate saab nõuetekohaselt käsitseda, säilitades samal ajal terviklikkuse ja järjepidevuse kogu oksüdatsiooni-, difusiooni- ja lõõmutamisprotsessi vältel.

Tugevaks ja töökindlaks loodud SiC-labad on konsool-tüüpi vars, mis hoiab vahvlipaate või vahvlivirnasid. Mõla toetab vahvleid, kui neid protsessikambrisse sisestatakse või sealt eemaldatakse. Tavalised materjalid ebaõnnestuvad nendel kõrgetel temperatuuridel deformeerumise, väänamise või keemilise lagunemise tõttu. Ränikarbiidi mehaaniline stabiilsus ja struktuurne terviklikkus võimaldavad aerul elada mitu termilist tsüklit ilma kuju või funktsiooni kaotamata. See võime on oluline ahju joonduse säilitamiseks, vahvlite mittekahjustamise tagamiseks protsessi ajal ja kuluka seisaku minimeerimiseks.

SiC labade termilist stabiilsust täiendab suurepärane keemiline vastupidavus reaktiivsetele gaasidele, mis tavaliselt ilmnevad oksüdatsiooni- ja difusiooniprotsessides (nt hapnik, kloor ja muud kõrgel temperatuuril agressiivsed ained). Paljud materjalid hävivad või saastuvad, kui nad puutuvad kokku kõrge temperatuuri ja hapnikuga. Ränikarbiid on keemiliselt inertne ja selle tihe mikrostruktuur tagab, et keemilisi reaktsioone ei toimu, tagades nii laba struktuuri terviklikkuse kui ka puhta keskkonna vahvlile. Sellest tulenev saastumise oht on viidud miinimumini pooljuhtide tootjate jaoks, kes tegutsevad mõnes kõige arenenumates protsessisõlmedes, mille puhul võivad isegi saastunud mikroelemendid põhjustada olulisi muudatusi seadme jõudluses.

SiC labadega seotud mehaaniline terviklikkus annab väärtust ka käsitsemisprotsessides. Konsoolkonstruktsiooni vorm nõuab materjali, mis mahutab kihivirnade raskusi ega paindu ega vaju. Ränikarbiidi väga kõrge moodul ja väga kõrge kõvadus muudavad selle vajaliku mehaanilise konstruktsioonifunktsiooni jaoks vajalikuks. SiC Paddle säilitab nii tasasuse kui ka struktuuri isegi vahvlitega koormatuna. See tähendab pidevat kontrolli ahju ja selle tingimuste üle pikkade tootmisperioodide jooksul.