SiC kate on õhuke kiht sustseptorile keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi kaudu. Ränikarbiidmaterjalil on räni ees mitmeid eeliseid, sealhulgas 10-kordne läbilöögi elektrivälja tugevus, 3-kordne ribavahe, mis tagab materjalile kõrge temperatuuri- ja keemilise vastupidavuse, suurepärase kulumiskindluse ja soojusjuhtivuse.
Semicorex pakub kohandatud teenust, aitab teil uuendada komponente, mis kestavad kauem, lühendavad tsükliaegu ja parandavad saagikust.
SiC-kattel on mitmeid ainulaadseid eeliseid
Vastupidavus kõrgele temperatuurile: CVD SiC-ga kaetud sustseptor talub kõrgeid temperatuure kuni 1600 °C ilma märkimisväärse termilise lagunemiseta.
Keemiline vastupidavus: ränikarbiidkate tagab suurepärase vastupidavuse paljudele kemikaalidele, sealhulgas hapetele, leelistele ja orgaanilistele lahustitele.
Kulumiskindlus: SiC-kate tagab materjalile suurepärase kulumiskindluse, muutes selle sobivaks rakendusteks, mis nõuavad suurt kulumist.
Soojusjuhtivus: CVD SiC kate tagab materjali kõrge soojusjuhtivusega, muutes selle sobivaks kasutamiseks kõrge temperatuuriga rakendustes, mis nõuavad tõhusat soojusülekannet.
Kõrge tugevus ja jäikus: ränikarbiidiga kaetud sustseptor annab materjalile suure tugevuse ja jäikuse, muutes selle sobivaks rakendusteks, mis nõuavad suurt mehaanilist tugevust.
SiC katet kasutatakse erinevates rakendustes
LED-tootmine: CVD SiC-kattega sustseptorit kasutatakse mitmesuguste LED-tüüpide, sealhulgas sinise ja rohelise LED-i, UV-LED-i ja sügav-UV-LED-i tootmisel, kuna see on kõrge soojusjuhtivuse ja keemilise vastupidavuse tõttu.
Mobiilside: CVD SiC-ga kaetud sustseptor on HEMT-i oluline osa GaN-on-SiC epitaksiaalse protsessi lõpuleviimiseks.
Pooljuhtide töötlemine: CVD SiC-ga kaetud sustseptorit kasutatakse pooljuhtide tööstuses mitmesugusteks rakendusteks, sealhulgas vahvlite töötlemiseks ja epitaksiaalseks kasvatamiseks.
SiC-kattega grafiitkomponendid
Valmistatud Silicon Carbide Coating (SiC) grafiidist, kate kantakse CVD-meetodil kõrge tihedusega grafiidi teatud klassidele, nii et see võib töötada kõrge temperatuuriga ahjus temperatuuril üle 3000 °C inertses atmosfääris ja 2200 °C vaakumis. .
Materjali erilised omadused ja väike mass võimaldavad kiiret kuumenemist, ühtlast temperatuurijaotust ja silmapaistvat juhtimistäpsust.
Semicorex SiC Coatingi materjaliandmed
Tüüpilised omadused |
Ühikud |
Väärtused |
Struktuur |
|
FCC β faas |
Orienteerumine |
murdosa (%) |
111 eelistatud |
Puistetiheduse |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Soojusmahtuvus |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Soojuspaisumine 100-600 °C (212-1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngi moodul |
Gpa (4p bend, 1300â) |
430 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
Kokkuvõte CVD SiC kaetud sustseptor on komposiitmaterjal, mis ühendab sustseptori ja ränikarbiidi omadused. Sellel materjalil on ainulaadsed omadused, sealhulgas kõrge temperatuuri- ja kemikaalikindlus, suurepärane kulumiskindlus, kõrge soojusjuhtivus ning kõrge tugevus ja jäikus. Need omadused muudavad selle atraktiivseks materjaliks mitmesuguste kõrge temperatuuriga rakenduste jaoks, sealhulgas pooljuhtide töötlemine, keemiline töötlemine, kuumtöötlus, päikesepatareide tootmine ja LED-tootmine.
Vabastage pooljuhtide valmistamise täpsuse tipp meie tipptasemel CVD SiC Pancake Susceptoriga. See kettakujuline komponent, mis on asjatundlikult loodud pooljuhtseadmete jaoks, on ülioluline element õhukeste pooljuhtplaatide toetamisel kõrgel temperatuuril toimuva epitaksiaalse sadestamise protsesside ajal. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC Heater Silicon Carbide Heating Elements on spetsiaalne tööriist, mida kasutatakse pooljuhtplaatide käitlemisel ja töötlemisel. Sellel üliolulisel seadmel on keskne roll kvaliteetsete pooljuhtseadmete tootmiseks vajaliku optimaalse soojuskeskkonna loomisel. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex CVD SiC Coated Graphite Susceptor on spetsiaalne tööriist, mida kasutatakse pooljuhtplaatide käsitsemiseks ja töötlemiseks. Sustseptor mängib üliolulist rolli õhukeste kilede, epitaksiaalsete kihtide ja muude kattekihtide kasvu hõlbustamisel substraatidel, kontrollides täpselt temperatuuri ja materjali omadusi. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC Heating Element Heater Filament SiC Rods on spetsiaalne tööriist, mida kasutatakse pooljuhtplaatide käitlemisel ja töötlemisel. Sellel üliolulisel seadmel on keskne roll kvaliteetsete pooljuhtseadmete tootmiseks vajaliku optimaalse soojuskeskkonna loomisel. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi pannkoogi sustseptor vahvlite epitaksiaalseks protsessiks on kõrge puhtusastmega grafiidipõhi, mis on kaetud CVD SiC-ga. Meie vahvlite epitaksiaalse protsessi pannkoogisusseptoril on hea hinnaeelis ja see katab enamiku Euroopa ja Ameerika turgudest. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex pakub kvaliteetset CVD SiC-ga kaetud grafiidist pannkoogi susseptorit. Oleme olnud grafiitmaterjalide tootja ja tarnija juba aastaid. Meie CVD SiC-kattega grafiidist pannkoogi susseptoril on hea hinnaeelis ja see katab enamiku Euroopa ja Ameerika turgudest. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päring