1x2" grafiitvahvelsusseptorid

Pooljuhtplaatide valmistamisel tuleb pooljuhtseadmete järgnevaks valmistamiseks vahvli substraadile kasvatada epitaksiaalne kiht. Kuna epitaksiaalne kasvuprotsess on väga tundlik temperatuurikõikumiste ja saastumise suhtes, valitakse usaldusväärsedvahvli sustseptoridon kriitilise tähtsusega. Vahvlite epitaksiaalse protsessi asendamatute tugiosadena on töötlemise täpsus, soojusjuhtimise võime ja saastekindluse jõudlus olulised tegurid kvaliteetse vahvli epitaksiaalse kasvu saavutamiseks.

Semicorexi 1x2" grafiitvahvli sustseptorite funktsioonid

Semicorexi 1x2-tollised grafiitvahvelsustseptorid, mis on valmistatud ülipeenest teralisest maatriksist kõrge puhtusastmega grafiidist, millel on tihe ränikarbiidkate spetsiaalsete protsesside käigus, täidavad järgmised funktsioonid:

1. Turvaline ja aegunud hoidmine

Semicorex 1x2"grafiitvahvli susceptoritel on täpne töötlemine ja töötlemine, mis tagab erakordse pinnatasasuse ja mõõtmete täpsuse. See tagab, et need on kindlalt sobivas asendis kinnitatud ja loob stabiilse tasase tugiplatvormi vahvlite epitaksiaalseks kasvuks.

2. Täpne ühtlane soojusjaotus

Grafiit- ja SiC materjalide suurepärase soojusjuhtivusega Semicorexi 1x2" grafiitvahvelsustseptorid tagavad kiire ja ühtlase soojusjaotuse pooljuhtaines. Temperatuurigradiente minimeerides saavad Semicorexi 1x2" grafiitvahvelsustseptorid tõhusalt vältida selliseid probleeme nagu ebaühtlane epitaksiaalne kvaliteet ja pingekontsentratsioon.

Semicorexi ränikarbiidkatte eelised

1.Superior korrosioonikindlus

Tiheda ränikarbiidkattega kaetud Semicorexi 1x2-tollised grafiitvahvelsusseptorid on tõhusalt vastupidavad enamikule kemikaalidele, mistõttu need sobivad kasutamiseks väga söövitavates töötingimustes, kus materjal puutub sageli kokku söövitavate gaaside ja kemikaalide aurudega.

2.Madal osakeste eraldumine

Semicorexränikarbiidkateon grafiitmaatriksiga kõrge nakketugevusega, mis võib märkimisväärselt vältida aluspinna saastumise ohtu, mis on tingitud korrosioonist tingitud katte eraldumisest ja kõrge korrosiooniga keskkondadest põhjustatud osakeste väljalangemisest.

3. Usaldusväärne kasutusiga

Kuigi grafiitmaatriksitel on suurepärane termiline stabiilsus ja mehaaniline tugevus, on see epitaksiaalse protsessi töötingimustes altid korrosioonile ja pulbristamisele, mis lühendab oluliselt katmata grafiitmaatriksite eluiga. Grafiitmaatriksite täieliku kapseldamisega tihedate SiC-katetega saavutavad meie 1 × 2-tollised grafiitvahvelsusseptorid suurepärase ja usaldusväärse vastupidavuse.

Semicorex SiC Coatingi materjaliandmed