SiC-kattega grafiidisusseptor MOCVD jaoks

Semicorex on ränikarbiidiga kaetud grafiidisusceptori suurtootja ja tarnija Hiinas. Keskendume pooljuhtide tööstustele, nagu ränikarbiidi kihid ja epitaksilised pooljuhid. Meie MOCVD jaoks mõeldud ränidioksiidiga kaetud grafiidisusseptoril on hea hinnaeelis ja see hõlmab paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorex SiC kaetud grafiidisusceptor MOCVD jaoks on kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga kaetud grafiidikandja, mida kasutatakse protsessi käigus vahvlikiibile epiksiaalse kihi kasvatamiseks. See on MOCVD keskplaat, hammasratta või rõnga kuju. MOCVD jaoks mõeldud SiC-kattega grafiidisusceptor on kõrge kuuma- ja korrosioonikindlusega, millel on suur stabiilsus ekstreemsetes keskkondades.
Semicorexis oleme pühendunud oma klientidele kvaliteetsete toodete ja teenuste pakkumisele. Kasutame ainult parimaid materjale ning meie tooted on loodud vastama kõrgeimatele kvaliteedi- ja jõudlusstandarditele. Meie MOCVD jaoks mõeldud ränidioksiidiga kaetud grafiidisusseptor pole erand. Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet selle kohta, kuidas saame teid aidata teie pooljuhtplaatide töötlemise vajadustega.

SiC-ga kaetud grafiidisusseptori parameetrid MOCVD jaoks

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

SiC-kattega grafiidisusceptori omadused MOCVD jaoks

- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut