Lõppefektor on roboti käsi, mis liigutab pooljuhtplaate vahvlitöötlusseadmete ja kandjate positsioonide vahel. Lõppefektor peab olema mõõtmete täpsusega ja termiliselt stabiilne, samal ajal kui sellel peab olema sile, kulumiskindel pind, et plaate ohutult käsitseda ilma seadmeid kahjustamata või tahkeid osakesi tekitamata.
Semicorexi kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) kattekomponendid tagavad suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse, et tagada epikihi ühtlane paksus ja vastupidavus, ning vastupidav keemiline vastupidavus.