Lõppefektor on roboti käsi, mis liigutab pooljuhtplaate vahvlitöötlusseadmete ja kandjate positsioonide vahel. Lõppefektor peab olema mõõtmete täpsusega ja termiliselt stabiilne, samal ajal kui sellel peab olema sile, kulumiskindel pind, et plaate ohutult käsitseda ilma seadmeid kahjustamata või tahkeid osakesi tekitamata.
Semicorexi kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) kattekomponendid tagavad suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse, et tagada epikihi ühtlane paksus ja vastupidavus, ning vastupidav keemiline vastupidavus.
Semicorexi alumiiniumoksiidi keraamikavars on kõrge puhtusega robotkomponent, mis on mõeldud täpseks ja saastumisvaba vahvli käitlemiseks pooljuhtide tootmisel. Semicorexi valimine tagab mitte ainult täiustatud alumiiniumoksiidi keraamilise materjali kvaliteedi, vaid ka täppismeisterlikkuse, mis tagab vastupidavuse, puhtuse ja usaldusväärsuse kriitilises protsessikeskkonnas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex SIC Arm on kõrge puhtusega räni karbiidi komponent, mis on ette nähtud vahvli täpseks käitlemiseks ja positsioneerimiseks pooljuhtide tootmisel. Semicorexi valimine tagab tasakaalustamata materjali usaldusväärsuse, keemilise vastupidavuse ja täpsustehnika, mis toetavad kõige nõudlikumaid pooljuhtide protsesse.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SIC-sõrmed on täppismootoriga komponendid, mis on valmistatud kõrge puiduga räni karbiidist, mis on loodud esinema pooljuhtide tootmise äärmuslike nõudmiste alusel. Semicorexi valimine tähendab juurdepääsu täiustatud materjali teadmistele, ülitäpsetele töötlemisele ja usaldusväärsetele lahendustele, mida usaldatakse kriitilistes vahvlite käitlemise rakendustes.*
Loe rohkemSaada päring