Sic -käsi

Semicorex SIC Arm on spetsialiseeritud seade, mis töötati välja maksimaalse usaldusväärsuse ja täpsusega vahvlite käsitsemiseks. Vahvli ülekandevardad, nagu SIC-käsi, ilmub täiustatud pooljuhtide valmistamise seadmetes nagu epitaksiaalsed reaktorid, ioonide implantatsioonisüsteemid, termilised töötlemise jne. Vahvli ülekanderelvad on vahvlite täpse liikumise täpsusega keerukate vahvlite käitlemiskeskkondades, et tagada töödeldud vahvlite ohutu ja täpne ülekandmine. Konstrueeritud kõrgpuhustusegaränikarbiidkoos tooraine omadustega 

Erakordne termiline ja keemiline stabiilsus ning suurepärane töötlemise juhtimine muudavad SIC -käe usaldusväärseks lahenduseks tulevaseks pooljuhtide tootmiseks.

SIC Arm on erakordne jõudlus äärmuslikus termilises keskkonnas. Nii epitaksiaalse kasvu kui ka muude kõrgete temperatuuridega protsessides saab vahvli käitlemise komponente püsivalt soojuse korral, mis hõlpsalt halvendab tavalise materjali karakteristikuid. Ränikarbiid säilitab kõrgetel temperatuuridel nii tugevuse kui ka mõõtmete täpsuse (piiratud mõõtmete tolerantsid), mis tagab vahvlitele ülekandmise või töötlemise ajal täpselt istuda ning praktiliselt kõrvaldada vahvli valesti joondamise, warPage või saastumise. Keraamika koos SIC -toote erakordse jõudlusega; Nagu SIC -käsi ei oksüdeeri, moonutage nagu metalli ega ka ebaõnnestumisomadusi nagu keraamika, mis on stressipraod.

Keemiline vastupidavus on veel üks SIC -käe määratlev omadus. Pooljuhtide keskkonnas on tavalised söövitavad gaasid, reaktiivsed kemikaalid ja plasmaga kokkupuute. Sellistes tingimustes halveneva käitlemisvars ei riski mitte ainult mehaanilise rikke, vaid ka vahvlite saastumisega.Ränikarbiidannab keemiliselt inertse pinna, mis talub neid agressiivseid tingimusi. Tulemuseks on väga usaldusväärne komponent, mis hoiab pinna terviklikkust ja puhtust, kaitstes vahvleid lisandite eest, mis võivad seadme jõudlust kahjustada. See vastupidavus vähendab märkimisväärselt seadmete seisakuid, vähendab asendussagedust ja suurendab protsessi järjepidevust.

Lisaks materiaalsele vastupidavusele vastab SIC Arm ka kõrgele töötlemise täpsusele. Vahvli käitlemine nõuab mikromeetri täpsust; Isegi spetsifikatsioonist väljuvad tolerantsid võivad põhjustada muutusi geomeetrias või pinnaviimistluses, mis võib põhjustada vahvli purunemise või vahvli valesti joondamise suuremaid riske. Kaasaegseid tootmistehnoloogiaid kasutades toodetakse SIC -relvi korralike tolerantside, tasasuse ja siledate pindadega. Täpsemad rakendused on ideaalne vahvlite järjepideva positsioneerimise ja korduva jõudluse tagamiseks tuhandete käitlemistsüklite ajal, mis sobib ideaalselt suure mahuga pooljuhtide tootmiseks, millel on nõudlikud spetsifikatsioonid.

Mitmekülgsus on SIC -relvade veel üks eelis. Erinevad pooljuhtide tööriistad ja protsessid vajavad erineva geomeetria, suuruse ja kujunduse relvi. Kuna SIC -relvi saab muuta, et need konkreetsed kujundusomadused hõlmata, mahuvad need hõlpsasti paljudesse süsteemidesse, olgu see siis epitaksia tööriist, ioonide implantatsiooniseadmete tükk või termiline töötlemise reaktor. Pinnaviimistlusi, konstruktsioonilisi kujundusi ja viimistlusi saab ka muuta ja konstrueerida, et pakkuda konkreetse rakenduse jaoks parimat jõudlust.

SIC -relvadel on ka tööefektiivsus. SICi kõrge vastupidavuse ja usaldusväärsuse keskmine asendamine on harvem ja seisakuid minimeeritakse; Mõlemad tähendavad madalamaid pikaajalisi hoolduskulusid. Tootmise pooljuhtide FAB -de jaoks tähendab see parema läbilaskevõime realiseerimist, tootmise suurema stabiilsuse potentsiaali ja suurema seadme saagikust.

SIC -relvad on pärast pooljuhtide kogukonnas tutvustamist laialdaselt kasutatud, spetsiaalselt vahvliülekandesüsteemides, kus nad peavad taluma nii mehaanilisi pingeid kui ka väga rangeid töötlemistingimusi. Olgu see siis vahvlite kolimine epitaxy reaktoritesse, hoides neid ioonide implanteerimise ajal paigal või kandes neid läbi gaasi- või termilise töötlemise keskkonda, pakub SIC-käsi turvalist, täpset ja saastumisvaba vahvli käitlemist. Usaldusväärsus ilmneb SIC -relvade sissetoomise kaudu kaasaegsesse pooljuhtseadme portfelli.

Semicorex SIC Arm on edukas kombinatsioon edasijõudnute soovitavatest omadustesträni karbiidimaterjal, täppisitehnika ja kõrgtemperatuuriga stabiilsus. Keemilise stabiilsuse kombinatsioon, mehaanilise valmistamise võime muudab SIC-käe sobivaks usaldusväärse vahvli käitlemiseks kõige raskemates pooljuhtmetes. SIC-kätt on kohandatav ja vastupidav lõppkasutaja tarbehüvitiste jaoks vahvli käitlemise abistamiseks ja pakkuda eeliseid pikaajalisel töötulemustel, mis on seotud tõhususe, saagikuse ja protsessi stabiilsuse osas. Tootjad, kes otsivad kaasaegseid ja tipptasemel vahvli käitlemissüsteeme või isegi karbist vahvli käitlemise lahendusi, vaatavad SIC-käest ja loodavad seda tõestatud, suure jõudlusega ja võimeka vahvli ülekandmise ja käitlemissüsteemiga pooljuhtide tööstuse täiustatud nõudmiste jaoks.