Alumiiniumoksiidi keraamiline käsi

Semicorexi alumiiniumoksiidi keraamikavars on konstrueeritud komponent, mis on välja töötatud pooljuhtide rakenduste kõrgeimate spetsifikatsioonide järgi. Valmistatud kõrge puhtusega alumiiniumoksiidist (al₂o₃), see on robotkäe, millel on ainulaadne kombinatsioon mehaanilisest tugevusest, termilisest stabiilsusest ja keemilisest vastupidavusest. Käe pole mõeldud mitte ainult ainult vahvli käitlemiseks, vaid peab pakkuma ka protsessi tuge täiustatud valmistamiskohtades. Samuti peab see tagama vahvlite ülekandmise, paigutamise ja töötlemiseta saastumise või kahjustusteta; Protsessi saagise parandamine ja usaldusväärsuse parandamine.

Alumiiniumoksiidon üks tehnilistest keraamikatest, mis leiab tehnilise keraamikaväljal kõige laiemat kasutamist. Alumiiniumoksiid on tuntud oma kõvaduse, kulumiskindluse ja stabiilsuse poolest agressiivsetes keskkondades. Keraamilise käe eesmärkide saavutamiseks vahvli käitlemise haldamiseks ilma saastumist kasutamata saab see ära kasutada alumiiniumoksiidi omadusi ja anda oma kõrge puhtuse ja osakeste suuruse tagajärjel palju kõrgemat vastupidavust hõõrdumisele; Seetõttu ei tekita see korduvate liikumiste ajal liigseid osakesi ei vahvlitega ega muid juhtivtöötajaid.  Tihedus ja madal poorsus, mida see ka majutab, piiravad ka vabade osakeste potentsiaali ja tagab, et see vastab pooljuhtide arendamise FAB-de üliõrje nõuetele, kahjustamata puhtust, mis on vajalik submikroniseadme käitlemiseks.

Alumiiniumoksiidomab lisaks mehaanilisele tugevusele ka erakordset termilist stabiilsust. Alumiiniumoksiidi keraamiline käsi võib taluda protsessi äärmist temperatuuri ilma väänamise, pragunemise või jõu kaotamata. See omadus muudab selle ideaalseks integreerimiseks mis tahes protsessi etappi, mis hõlmab kokkupuudet kõrgendatud temperatuuridega, näiteks difusiooni, oksüdeerumise või abivahenditega. Vahvlid on parandanud ülekande usaldusväärsust keerulises protsessikeskkonnas, kuna see säilitab termilise tsükli ajal mehaanilise terviklikkuse.

Keemiline vastupidavus on veel üks alumiiniumoksiidi keraamilise käe põhimõtteline positiivne positiivne positiivne positiivne. Pooljuhtide tootmisel tehakse töötlusi sageli vahvlitel, mis hõlmavad tugevaid happeid, leeliseid ja muid agressiivseid kemikaale. Kuigi metallkomponendid võivad söövitada või leostuda, on alumiiniumoksiid keemiliselt inertne, mis kaitseb nii käe kui ka vahvlite terviklikkust. Seetõttu pikendab inersus komponendi eluiga, vähendades samas saastumise võimalust kriitiliste protsesside etappide ajal, näiteks niiske puhastus või keemiline aurude sadestumine.

Alumiiniumoksiidi keraamikavars on loodud keskendudes ühilduvusele ja täpsusele. Iga käsi on valmistatud tiheda mõõtmete tolerantsideni, tagades vahvli täpse joondamise ja liikumise ning ühilduvuse automatiseeritud vahvli käitlemise seadmete ja robotsüsteemidega. Sujuval, lihvitud pinnaviimistlusel on madal hõõrdeliides vahvliga, mis vähendab vahvli kriimustamise võimalust, mis on oluline vahvli terviklikkuse/keskkonna puhtuse ja defektide kiiruse vähendamiseks. Need konstrueeritud tolerantsid tagavad, et käsi töötab vabalt kiire tempoga suure läbilaskevõimega keskkonnas ja võimaldab käe jaoks nii inimliku kui ka täielikult automatiseeritud pooljuhtide töövooge.

Alumiiniumoksiidi keraamiline käsi ulatub kaugemale keemilisest ja mehaanilisest jõudlusest ning mõjutab töötõhusust ja kulude kokkuhoidu mitmel tasandil. Keraamika tõestatud vastupidav olemus võimaldab käel ületada komposiitmaterjale, nagu plast või alumiinium, korduva mehaanilise koormuse korral kujunduse pikaealisuse osas ning vähendab seetõttu töötavate seisakuid ja/või asendamiskulusid. Võimalus taluda karmi keskkonda, hõlmab keskkonna puhtust, tekitades samal ajal ka vähem tootmise katkestusi, mis põhjustavad paranenud järjepidevat vahvli tootmist, s.o saagi ja lõppkokkuvõttes vähem jääki, mis põhjustab pooljuhtide tootjate kõrgemat investeeringutasuvust (investeeringutasuvus).

VõimalusedAlumiiniumoksiidi keraamikaPooljuhtide protsesside käsivars on praktiliselt lõputud - alates vahvlite liikumisest niiskete pinkide, difusiooniahjude ja sadestuskambrite vahel kuni substraatide kasutamise ja metroloogiavahendite kontrollimiseni. Selle toote mitmekülgsus ei võimalda seda mitte ainult kasutada vahvli käitlemise rakenduste jaoks, vaid ka edasine automatiseerimisolukordade puhul, kus on vaja täpsust, puhtust ja töökindlust. Pooljuhtide tööstus liigub vääramatult väiksemate sõlmede ja seadme valmistamise keerukuse poole ning kuna tööstus nõuab jätkuvalt paremaid käitlemislahendusi, mis on usaldusväärsed ja mitterahastavad, loob keraamiline robotik käsi selge tee edasi.