Semicorex RTP kandja on ränikarbiidiga kaetud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga, mis on tõesti stabiilne RTA, RTP või karmi keemilise puhastuse korral. Pooljuhtprotsessi keskmes on epitaksia sustseptorid esmalt sadestamiskeskkonnaga, nii et sellel on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus. SiC-ga kaetud kandjal on ka kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
● Kõrge puhtusastmega SiC kaetud grafiit
● Suurepärane kuuma- ja kemikaalikindlus
● Kõrge termiline ühtlus
● Suurepärane kulumiskindlus