RTP/RTA SiC katte kandja

Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier on konstrueeritud nii, et see taluks sadestamiskeskkonna kõige raskemaid tingimusi. Kõrge kuuma- ja korrosioonikindlusega toode on loodud pakkuma optimaalset jõudlust epitaksiaalseks kasvuks. SiC-ga kaetud kandjal on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotusomadused, mis tagab usaldusväärse jõudluse RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse korral.

Saada päring

Tootekirjeldus

Meie RTP/RTA SiC kattekandja MOCVD epitaksiaalse kasvu jaoks on ideaalne lahendus vahvlite käsitsemiseks ja epitaksiaalse kasvu töötlemiseks. Sileda pinnaga ja suure vastupidavusega keemilisele puhastamisele pakub see toode usaldusväärset jõudlust karmides sadestuskeskkondades.
Meie RTP/RTA SiC kattekandja materjal on loodud vältima pragude tekkimist ja kihistumist, samas kui suurepärane kuumakindlus ja termiline ühtlus tagavad ühtlase jõudluse RTA, RTP või karmi keemilise puhastuse korral.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie RTP/RTA SiC kattekandja kohta

RTP/RTA SiC Coating Carrieri parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

RTP/RTA SiC Coating Carrieri omadused

Kõrge puhtusastmega SiC kaetud grafiit
Suurepärane kuumakindlus ja termiline ühtlus
Peen SiC kristallkattega sileda pinna saavutamiseks
Kõrge vastupidavus keemilise puhastuse vastu
Materjal on disainitud nii, et ei tekiks pragusid ega kihistumist.