RTP RTA SiC kaetud kandja

Semicorex on ränikarbiidiga kaetud grafiidisusceptori suurtootja ja tarnija Hiinas. Semicorexi grafiidisusseptor, mis on konstrueeritud spetsiaalselt kõrge kuuma- ja korrosioonikindlusega epitaksiseadmete jaoks Hiinas. Meie RTP RTA SiC Coated Carrieril on hea hinnaeelis ja see katab paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorex tarnib vahvlite toetamiseks kasutatavat RTP RTA SiC Coated Carrierit, mis on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse korral. Kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga (SiC) kaetud grafiitkonstruktsiooniga RTP RTA SiC-ga kaetud kandja tagab suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse, et tagada epikihi ühtlane paksus ja vastupidavus, ning vastupidav keemiline vastupidavus. Peen SiC-kristallkate tagab puhta ja sileda pinna, mis on käsitsemisel kriitilise tähtsusega, kuna puutumatud vahvlid puutuvad susseptoriga kokku paljudes kohtades kogu oma piirkonnas.
Semicorexis keskendume kvaliteetse ja kulutõhusa RTP RTA SiC Coated Carrieri pakkumisele, seame esikohale klientide rahulolu ja pakume kulutõhusaid lahendusi. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks, pakkudes kvaliteetseid tooteid ja erakordset klienditeenindust.

RTP RTA SiC Coated Carrier parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

RTP RTA SiC Coated Carrieri omadused

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.
- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.
- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.