Ränikarbiidkeraamika (SiC) on täiustatud keraamiline materjal, mis sisaldab räni ja süsinikku. Ränikarbiidi terad saab paagutamise teel omavahel siduda, moodustades väga kõva keraamika. Semicorex tarnib kohandatud ränikarbiidist keraamikat vastavalt teie vajadustele.
Rakendused
Ränikarbiidkeraamika puhul jäävad materjali omadused konstantseks kuni temperatuurini üle 1400°C. Suur Youngi moodul > 400 GPa tagab suurepärase mõõtmete stabiilsuse.
Ränikarbiidi komponentide tüüpiline rakendus on dünaamiline tihendustehnoloogia, mis kasutab hõõrdlaagreid ja mehaanilisi tihendeid, näiteks pumpades ja ajamisüsteemides.
Täiustatud omadustega ränikarbiidist keraamika sobib ideaalselt kasutamiseks ka pooljuhtide tööstuses.
Vahvlipaadid
Semicorex Wafer Boat on valmistatud paagutatud ränikarbiidkeraamikast, millel on hea korrosioonikindlus ja suurepärane vastupidavus kõrgetele temperatuuridele ja termilisele šokile. Täiustatud keraamika tagab suurepärase soojustakistuse ja plasma vastupidavuse, vähendades samal ajal suure võimsusega vahvlikandjate osakesi ja saasteaineid.
Reaktsiooniga paagutatud ränikarbiid
Võrreldes teiste paagutamisprotsessidega on tihendamisprotsessi ajal tekkiva reaktsioonipaagutamise suuruse muutus väike ja saab valmistada täpsete mõõtmetega tooteid. Kuid suure koguse SiC olemasolu paagutatud kehas halvendab reaktsiooniga paagutatud SiC keraamika kõrge temperatuuri jõudlust.
Survevaba paagutatud ränikarbiid
Survevaba paagutatud ränikarbiid (SSiC) on eriti kerge ja samal ajal kõva suure jõudlusega keraamika. SSiC-d iseloomustab kõrge tugevus, mis jääb peaaegu konstantseks isegi äärmuslikel temperatuuridel.
Ümberkristalliline ränikarbiid
Ümberkristallitud ränikarbiid (RSiC) on järgmise põlvkonna materjalid, mis on moodustatud kõrge puhtusastmega ränikarbiidi jämeda pulbri ja kõrge aktiivsusega ränikarbiidi peene pulbri segamisel ning pärast vuukimist vaakumpaagutamisel temperatuuril 2450 °C ümberkristallimiseks.
|
|
Reaktsioonpaagutatud ränikarbiid |
Survevaba paagutatud ränikarbiid |
Ümberkristallitud ränikarbiid |
Tüüpilised omadused |
Ühikud |
Väärtused |
|
|
Puistetiheduse |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Paindetugevus |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380 (55) |
80–90 (20 °C) |
Survetugevus |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970 (560) |
> 600 |
Kõvadus |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Vastupidavuse murdmine |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Soojusjuhtivus |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Soojuspaisumise koefitsient |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Erisoojus |
Džauli/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Maksimaalne õhutemperatuur |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastne moodul |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Paindetugevus |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380 (55) |
80–90 (20 °C) |
Semicorex Wafer Boat Carrier on pooljuhtide töötlemise valdkonnas uuenduste tipp. See kandur on hoolikalt valmistatud grafiidist ja rikastatud tipptasemel keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) ränikarbiidi (SiC) kattega. See kandur on täppistehnika ja arenenud materjaliteaduse näide. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex Baffle Wafer Boat on kõrgelt arenenud seade, mida kasutatakse pooljuhtide töötlemisel. See on hoolikalt välja töötatud, et tagada õrnade vahvlite ohutu hoidmine tootmise kriitilistes etappides. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex Zirconia ZrO2 Robot Arm, oluline komponent pooljuhtide töötlemisel sujuvaks vahvlite edastamiseks ja käsitsemiseks. See keraamiline käsivars on loodud taluma kõrge temperatuuri, söövitava ja abrasiivse keskkonna rangeid nõudmisi ning sellel on võrratu vastupidavus ja töökindlus. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi tsirkooniumoksiidi keraamiline otsik, mille valmistamisel on pööratud erilist tähelepanu detailidele, on see düüs suurepärase ühtsuse ja täpsusega nii gaaside kui ka vedelike voolukiiruse kontrollimisel. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi alumiiniumnitriidkeraamiline padrun kujutab endast tipptasemel lahendust pooljuhtplaatide töötlemiseks, mis on spetsiaalselt loodud vahvlite turvaliseks paigal hoidmiseks tootmise erinevatel etappidel. See uuenduslik seade, mis töötab elektrostaatilise padrunina (ESC), kasutab alumiiniumnitriidkeraamika erakordseid omadusi, et tagada vahvlite täpne ja usaldusväärne kinnipidamine. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päringVõite olla kindel, et ostate meie tehasest alumiiniumnitriidvahvlihoidja. Semicorexi alumiiniumnitriid (AlN) vahvlihoidik on pooljuhtide töötlemise valdkonnas asendamatu komponent, mis toimib pöördeplatvormina õrnade vahvlite turvaliseks hoidmiseks valmistamise erinevates etappides. See vahvlihoidja, mis on valmistatud kvaliteetsest alumiiniumnitriidmaterjalist, mis on tuntud oma erakordse soojusjuhtivuse, mehaanilise tugevuse ja elektriisolatsiooniomaduste poolest, tagab optimaalsed tingimused täpsete ja tõhusate pooljuhtide tootmisprotsesside jaoks. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.
Loe rohkemSaada päring