Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega SiC keraamilised komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub vahvlitöötlemisseadmete kulumaterjalidest, nagu ränikarbiidist vahvlipaat, konsoollabad, torud jne Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitus või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) konstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
Konsoolne mõla →
Konsooli mõla on oluline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti difusiooni- või LPCVD-ahjudes selliste protsesside ajal nagu difusioon ja RTP.
Protsessi toru →
Protsessitoru on ülioluline komponent, mis on spetsiaalselt loodud erinevates pooljuhtide töötlemise rakendustes, nagu RTP, difusioon.
Vahvlipaadid →
Vahvelpaati kasutatakse pooljuhtide töötlemisel, see on hoolikalt välja töötatud, et tagada õrnade vahvlite ohutu hoidmine tootmise kriitilistes etappides.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorexil on ka keraamilised tooted alumiiniumoksiidist (Al2O3), räninitriidist (Si3N4), alumiiniumnitriidist (AIN), tsirkooniumoksiidist (ZrO2), komposiitkeraamikast jne.
Spetsiaalselt äärmuslike temperatuuride jaoks loodud kuumpressitud boornitriidtiiglid on asendamatud keraamilised mahutid, mis on suurepärased lahendused nii metallide sulatus- ja aurustamisprotsessides kui ka pooljuhtkristallide kasvatamise protsessides.
Loe rohkemSaada päringKvaliteetsetest ränikarbiidmaterjalidest toodetud SIC termopaari kaitsetorud on täiustatud keraamilised lahendused, mida kasutatakse termopaaride kaitsmiseks normaalse töö eest nõudlikes kõrge temperatuuriga keskkondades. Valige Semicorex täppiskonstrueeritud SIC-termopaari kaitsetorude jaoks, mis tagavad ühtlase kvaliteedi, kulutõhusa jahutustõhususe ja maksimaalse.
Loe rohkemSaada päringKõrge jõudlusega ränikarbiidi keraamikast valmistatud ränikarbiidist jahutuskanalid on tõhusad torukomponendid, mida kasutatakse kõrgtemperatuursete tööstuslike ahjude jahutusprotsessides. Valige Semicorex täppiskonstrueeritud ränikarbiidist jahutuskanalite jaoks, mis tagavad ühtlase kvaliteedi, kulutõhusa hinna ja maksimaalse jahutuse efektiivsuse.
Loe rohkemSaada päringSemicorex Carbon Ceramic Brake on valmistatud täiustatud süsinikkeraamilistest komposiitidest, mis on täiustatud materjal, mis sobib suurepäraselt kõrge temperatuuriga töökeskkonda. Semicorex tarnib kohandatud tooteid vastavalt rakendustele ja klientide nõudmistele.*
Loe rohkemSaada päringSilicon Carbide ICP söövitusplaat on asendamatu vahvlihoidja, mis on valmistatud kõrge puhtusastmega paagutatud ränikarbiidkeraamikast. Spetsiaalselt Semicorexi poolt välja töötatud see on tipptasemel pooljuhtidetööstuses induktiivsidestatud plasma (ICP) söövitus- ja sadestussüsteemide jaoks ülioluline võimaldaja.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi alumiiniumnitriidtiigleid toodab pooljuhtklassi AlN keraamika, mis on suure jõudlusega reaktsioonianumad, mida kasutatakse keerulistes kõrge temperatuuriga keskkondades. Semicorex pakub kohandatud tootmist vastavalt kliendi nõudmistele, käsitledes nii suuremahulisi tellimusi kui ka väikese partii prototüüpide vajadusi.
Loe rohkemSaada päring