Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega SiC keraamilised komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub vahvlitöötlemisseadmete kulumaterjalidest, nagu ränikarbiidist vahvlipaat, konsoollabad, torud jne Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitus või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) konstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
Konsoolne mõla →
Konsooli mõla on oluline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti difusiooni- või LPCVD-ahjudes selliste protsesside ajal nagu difusioon ja RTP.
Protsessi toru →
Protsessitoru on ülioluline komponent, mis on spetsiaalselt loodud erinevates pooljuhtide töötlemise rakendustes, nagu RTP, difusioon.
Vahvlipaadid →
Vahvelpaati kasutatakse pooljuhtide töötlemisel, see on hoolikalt välja töötatud, et tagada õrnade vahvlite ohutu hoidmine tootmise kriitilistes etappides.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorexil on ka keraamilised tooted alumiiniumoksiidist (Al2O3), räninitriidist (Si3N4), alumiiniumnitriidist (AIN), tsirkooniumoksiidist (ZrO2), komposiitkeraamikast jne.
Semicorexi räni nitriidplaadid on ülitugevad keraamilised substraadid, mis on loodud erakordse soojusliku jõudluse ja mehaanilise töökindluse tagamiseks täiustatud võimsuse moodulite jaoks. Semicorexi valimine tähendab kasu täppisharjumusest, rangest kvaliteedikontrollist ja materjalide tehnilistest teadmistest, mis tagavad järjepideva jõudluse ka kõige nõudlikumates rakendustes.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex sic vertikaalne paat on suure jõudlusega vahvli kandja, mis on valmistatud kasutamiseks vertikaalsetes ahjuprotsessides, pakkudes erakordset stabiilsust, puhtust ja vastupidavust. Valige semicorex kompromissitu kvaliteedi, täpsuse tootmise ja tõestatud usaldusväärsuse saamiseks pooljuhtide termilise töötlemise korral.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex SIC-torud on suure jõudlusega räni karbiidi keraamilised komponendid, mis on mõeldud pooljuhtide ahjurakenduste jaoks, pakkudes erakordset termilist, mehaanilist ja keemilist stabiilsust nõudlikes protsesside keskkonnas. Valige semicorex, et saada täpsusega konstrueeritud SIC-torud, mis tagavad järjepideva kvaliteedi, pikendatud kasutusaja ja ahju maksimaalse efektiivsuse.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi horisontaalkamber ahjud sic-paadid on kõrge puhtusarja räni karbiidi kandja, mis on mõeldud turvaliseks vahvli hoidmiseks kõrge temperatuuriga horisontaalse ahju töötlemise ajal. Semicorexi valimine tähendab kasu täpsest tehnilisest, erakordsest vastupidavusest ja paremast soojuslikust jõudlusest järjepideva ja kõrge saagikusega.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi räni karbiidi skaneerimise peeglid annavad kõige nõudlikumate optiliste skaneerimisrakenduste jaoks erakordse täpsuse, kiiruse ja stabiilsuse. Valige SIC Engineeringu alategemata teadmiste jaoks Semicorex, pakkudes kohandatud geomeetriat, esmaklassilisi katteid ja tõestatud usaldusväärsust suure jõudlusega optilistes süsteemidelt.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex sic-peeglid on suure jõudlusega räni karbiidi optilised komponendid, mis on valmistatud äärmiseks täpsuseks sellistes rakendustes nagu optiliste skaneerimise süsteemid, litograafia ja kosmosepõhised teleskoobid. Valige semicorex meie täiustatud tootmise teadmiste, kohandatavate kujunduste ja erakordse pinna viimistluse jaoks, mis tagavad tasakaalustamata stabiilsuse, peegelduvuse ja usaldusväärsuse kõige nõudlikumas keskkonnas.
Loe rohkemSaada päring