Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega SiC keraamilised komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub vahvlitöötlemisseadmete kulumaterjalidest, nagu ränikarbiidist vahvlipaat, konsoollabad, torud jne Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitus või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) konstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
Konsoolne mõla →
Konsooli mõla on oluline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti difusiooni- või LPCVD-ahjudes selliste protsesside ajal nagu difusioon ja RTP.
Protsessi toru →
Protsessitoru on ülioluline komponent, mis on spetsiaalselt loodud erinevates pooljuhtide töötlemise rakendustes, nagu RTP, difusioon.
Vahvlipaadid →
Vahvelpaati kasutatakse pooljuhtide töötlemisel, see on hoolikalt välja töötatud, et tagada õrnade vahvlite ohutu hoidmine tootmise kriitilistes etappides.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorexil on ka keraamilised tooted alumiiniumoksiidist (Al2O3), räninitriidist (Si3N4), alumiiniumnitriidist (AIN), tsirkooniumoksiidist (ZrO2), komposiitkeraamikast jne.
Semicorexi vaakumpadrun on suure jõudlusega komponent, mis on loodud pooljuhtide tootmises vahvlite turvaliseks ja täpseks käsitsemiseks. Valige Semicorex meie täiustatud, vastupidavate ja saastekindlate lahenduste jaoks, mis tagavad optimaalse jõudluse ka kõige nõudlikumates protsessides.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi ränikarbiidist hülsi kasutatakse tavaliselt kulumis- ja korrosioonikindla vooderdusena selliste seadmete jaoks nagu silindrid, pumbad, ventiilid, liuglaagrid ja veskitrumlid.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi alumiiniumoksiidi isolatsioonirõngast kasutatakse isolaatorina erinevates elektrikomponentides, selle suurepärased elektriisolatsiooniomadused tagavad usaldusväärse jõudluse rakendustes, kus elektrijuhtivuse vältimine on hädavajalik.
Loe rohkemSaada päringSemicorex Silicon Carbide Liner on mitmekülgne ja vastupidav materjal, mis on hindamatu väärtus tööstuslike töötlemisseadmete tõhususe ja pikaealisuse optimeerimisel.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi SiC roolipeegel on tähelepanuväärne materjal, mis ühendab endas vastupidavuse, vastupidavuse ja erakordse optilise jõudluse, muutes selle asendamatuks täiustatud optilistes süsteemides erinevates kõrgtehnoloogilistes tööstusharudes.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi must tsirkooniumrõngas on suure jõudlusega komponent, mis pakub ainulaadset segu mehaanilisest tugevusest, kõvadusest ja vastupidavusest nii termiliste kui ka keemiliste väljakutsete suhtes tihendamisel ja isolatsioonil töötlemisel ja metallurgias.
Loe rohkemSaada päring