Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega SiC keraamilised komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub vahvlite töötlemise seadmete kulumaterjalidest, nagu ränikarbiidist vahvelpaat, konsoollabad, torud jne Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitamine või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) konstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, et tagada epikihi ühtlane paksus ja vastupidavus.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
Konsoolne mõla →
Konsooli mõla on oluline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti difusiooni- või LPCVD-ahjudes selliste protsesside ajal nagu difusioon ja RTP.
Protsessi toru →
Protsessitoru on ülioluline komponent, mis on spetsiaalselt loodud erinevates pooljuhtide töötlemise rakendustes, nagu RTP, difusioon.
Vahvlipaadid →
Vahvelpaati kasutatakse pooljuhtide töötlemisel, see on hoolikalt välja töötatud, et tagada õrnade vahvlite ohutu hoidmine tootmise kriitilistes etappides.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorexil on ka keraamilised tooted alumiiniumoksiidist (Al2O3), räninitriidist (Si3N4), alumiiniumnitriidist (AIN), tsirkooniumoksiidist (ZrO2), komposiitkeraamikast jne.
Semicorexi alumiiniumnitriidi isolatsioonirõngad on täiustatud pooljuhtide tootmise, eriti kõrgsagedusliku kuumtöötluse protsesside asendamatud komponendid. Nende ainulaadne kombinatsioon kõrgel temperatuuril stabiilsusest, suurepärastest tihendusomadustest, erakordsest soojusjuhtivusest ja loomupärasest vastupidavusest muudab need oluliseks protsessi täpse juhtimise, seadme kõrge tootlikkuse ja seadmete pikema tööea tagamiseks pooljuhtide tootmise nõudlikus keskkonnas. Meie, Semicorex, oleme pühendunud suure jõudlusega alumiiniumnitriidist isolatsioonirõngaste tootmisele ja tarnimisele, mis ühendavad kvaliteedi ja kulutõhususe.**
Loe rohkemSaada päringSemicorexi alumiiniumnitriidi elektrostaatilised padrunid pakuvad mõjuvat kombinatsiooni omadustest, mis muudavad need ideaalselt sobivaks pooljuhtplaatide töötlemise nõudlike nõuete jaoks. Nende võime tagada vahvlite turvaline ja ühtlane kinnitus, suurepärane soojusjuhtimine ja vastupidavus karmidele töötlemiskeskkondadele tähendab seadme paremat jõudlust, suuremat saagist ja väiksemaid tootmiskulusid. Meie, Semicorex, oleme pühendunud suure jõudlusega alumiiniumnitriid-elektrostaatiliste padrunite tootmisele ja tarnimisele, mis ühendavad kvaliteedi ja kulutõhususe.**
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC Wafer Inspection padrunid on kriitilise tähtsusega täiustatud pooljuhtide tootmise võimaldajad, mis vastavad kasvavatele nõuetele täpsuse, puhtuse ja läbilaskevõime järele. Nende suurepärased materjaliomadused annavad käegakatsutavaid eeliseid kogu vahvlite valmistamise protsessis, aidates lõpuks kaasa suuremale saagisele, seadme paremale jõudlusele ja madalamatele tootmiskuludele. Meie, Semicorex, oleme pühendunud suure jõudlusega SiC vahvlite kontrollpadrunite tootmisele ja tarnimisele, mis ühendavad kvaliteedi kulutõhususega.**
Loe rohkemSaada päringSemicorex Alumina Ceramic Robotic Arm, tuntud ka kui vahvlite käsitsemise keraamiline robotkäsi või keraamiline ränivahvli käsitsemiskahvel, on suure jõudlusega pooljuhtseadmete komponent. Selle disain võtab arvesse pooljuhtide valmistamise rangeid nõudeid. Kõrge temperatuurikindluse, kulumiskindluse, keemilise stabiilsuse ja suurepäraste elektriisolatsiooniomadustega on alumiiniumoksiidi keraamiline vars ülemaailmses pooljuhtide tootmises asendamatul kohal. Meie, Semicorex, oleme pühendunud suure jõudlusega alumiiniumoksiidi keraamilise robotkäe tootmisele ja tarnimisele, mis ühendavad kvaliteedi kulutõhususega.**
Loe rohkemSaada päringSemicorexi SiC difusioonahju toru täiustatud materjaliomadused, sealhulgas kõrge paindetugevus, suurepärane oksüdatsiooni- ja korrosioonikindlus, kõrge kulumiskindlus, madal hõõrdetegur, suurepärased mehaanilised omadused kõrgel temperatuuril ja ülikõrge puhtus, muudavad selle pooljuhtide tööstuses asendamatuks. , eriti difusioonahjude jaoks. Meie, Semicorex, oleme pühendunud suure jõudlusega ränidioksiidi difusioonahju torude tootmisele ja tarnimisele, mis ühendavad kvaliteedi kuluefektiivsusega.**
Loe rohkemSaada päringKvaliteetsete materjaliomadustega Semicorex SiC Diffusion Boat esindab optimaalset funktsionaalsust laia tööparameetrite spektri puhul: kõvadus, vastupidavus ning termiline ja keemiline vastupidavus jne. See materjalivalik on saasteohu vähendamisel, vahvlite kaitsmisel ja vastupidavuse tagamisel ülioluline. pooljuhtide tootmisprotsessides valitsevad nõudlikud tingimused. Meie, Semicorex, oleme pühendunud suure jõudlusega ränidioksiidi difusioonpaati tootmisele ja tarnimisele, mis ühendab kvaliteedi kulutõhususega.**
Loe rohkemSaada päring