Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega SiC keraamilised komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub vahvlitöötlemisseadmete kulumaterjalidest, nagu ränikarbiidist vahvlipaat, konsoollabad, torud jne Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitus või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) konstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
Konsoolne mõla →
Konsooli mõla on oluline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti difusiooni- või LPCVD-ahjudes selliste protsesside ajal nagu difusioon ja RTP.
Protsessi toru →
Protsessitoru on ülioluline komponent, mis on spetsiaalselt loodud erinevates pooljuhtide töötlemise rakendustes, nagu RTP, difusioon.
Vahvlipaadid →
Vahvelpaati kasutatakse pooljuhtide töötlemisel, see on hoolikalt välja töötatud, et tagada õrnade vahvlite ohutu hoidmine tootmise kriitilistes etappides.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorexil on ka keraamilised tooted alumiiniumoksiidist (Al2O3), räninitriidist (Si3N4), alumiiniumnitriidist (AIN), tsirkooniumoksiidist (ZrO2), komposiitkeraamikast jne.
Semicorex 6 Inch SiC Boat on ränikarbiidist valmistatud suure jõudlusega vahvlikandja, mis on mõeldud kasutamiseks kõrgtemperatuurilistes pooljuhtprotsessides, nagu oksüdatsioon ja difusioon. Semicorex pakub kõrgekvaliteedilisi tooteid, millel on erakordne termiline stabiilsus, suurepärane keemiline vastupidavus ja pühendumus usaldusväärsele ja kauakestvale jõudlusele nõudlikes pooljuhtide rakendustes.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex Vertical Silicon Boat on pooljuhtide tootmisprotsessides kasutatav kriitiline komponent. Semicorex pakub kohandatud vertikaalset ränipaati, millel on võrratu kvaliteet ja täpsus, mis on kohandatud pooljuhtide tööstuse rangetele nõudmistele.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi Si3N4 tihendusrõngas kujutab endast olulist edasiminekut keraamikatehnoloogias, mis on valmistatud erakordsest anorgaanilisest materjalist Si3N4. See keraamika on tuntud oma ainulaadse omaduse poolest, et see ei tõmbu kokku paagutamisprotsessi ajal, tagades mõõtmete stabiilsuse ja konsistentsi.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi alumiiniumoksiidi kinnitus on keemilise aurustamise-sadestamise (CVD), ioonide implanteerimise, fotolitograafia ja pooljuhtide tootmise seadmete ehituse lahutamatu osa.
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC Pump Shaft paistab silma oma võrratu jõudluse ja töökindluse poolest magnetpumpade, varjestuspumpade, mitmeastmeliste pumpade, hüdropumpade, kemikaalipumpade ja tsentrifuugide lahutamatu komponendina.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi esitletud AlN Ceramic Crucible, mis on loodud taluma ekstreemseid tingimusi, on asendamatu tööriist professionaalidele, kes töötavad värviliste metallide ja pooljuhtmaterjalidega, nagu galliumarseniid.
Loe rohkemSaada päring