Ränikarbiidist kassettpaadid

Semicorexränikarbiidist kassettpaadidon asendamatud kandekomponendid oma stabiilse ja ülitugeva struktuuriga, mis hoiavad, teisaldavad ja käsitsevad ohutult ja täpselt mitut pooljuhtplaati. Neid kasutatakse laialdaselt erinevates kõrgtemperatuurilistes pooljuhtprotsessides, et tagada optimaalne soojus- ja gaasivoolu jaotus järjepidevate töötlemistulemuste saavutamiseks.

Hoolikalt valitud tooraine

Semicorexi ränikarbiidist kassettpaatidel, mis on valmistatud täpselt pooljuhtkvaliteediga ränikarbiidi pulbrist kõrgtemperatuurse paagutamise teel, on järgmised suurepärased omadused.

1. Ülikõrge puhtusastmega:Substraadi lisandite sisaldus on kontrollitud alla 100 PPM ja lisandite taseCVD ränikarbiidkattekiht võib ulatuda alla 1 ppm.

2. Usaldusväärne korrosioonikindlus:Ränikarbiidkeraamika tagab tugeva korrosioonikindluse ja on vastupidav enamiku hapete (nt vesinikkloriidhape, väävelhape ja vesinikfluoriidhape), leeliste (nt seebikivi), lahustite ja oksüdeerivate ainete korrosioonile.

3. Erakordne soojusjuhtimisvõime:Erakordse soojustakistuse ja madala soojuspaisumise koefitsiendiga ränikarbiidist kassettpaadid suudavad säilitada oma keemilised omadused ja mehaanilise tugevuse isegi siis, kui nad puutuvad kokku pikaajaliste töötingimustega kõrgel temperatuuril umbes 1250 °C.

Täppisprojekteeritud struktuur

1. Horisontaalne raami struktuur:Semicorexi ränikarbiidist kassettpaatide horisontaalne raami struktuur muudab need ideaalselt sobivaks horisontaalsete kõrge temperatuuriga ahjutorudega.

2. Ühtlaste vahedega pilusälgud:Semicorexi ränikarbiidist kassettide arvukate pesadega, mis on ühtlaselt paigutatud, suudavad vahvlit kindlalt paigal hoida, mis võib märkimisväärselt ära hoida soovimatuid kriimustusi, hõõrdumist ja vahvli nihkumisest tulenevaid kahjustusi, tagades seega tõhusalt pooljuhtprotsessi stabiilsuse ja vahvli saagikuse.

3. Mitme pesaga disain:Mitu pesa, mis on mõeldud mitme vahvli kandmiseks, võimaldavad Semicorexi ränikarbiidist kassettpaatidel parandada nende ühepartii töötlemise läbilaskevõimet ja üldist tootmise efektiivsust.

4. Avatud arhitektuur:Semicorexi ränikarbiidist kassettpaadid on varustatud läbimõeldud avatud arhitektuuriga, mis aitab saavutada ühtlast gaasijaotust ja piisavat reaktsioonikontakti, mis vähendab tõhusalt ebajärjekindlaid protsessitulemusi.