Pooljuhtide tööstus nõuab jätkuvalt suuremat täpsust, puhtamat töötlemiskeskkonda ja suuremat tootmistõhusust. Kuna vahvlite suurus suureneb ja protsessi tolerantsid muutuvad järjest rangemaks, on traditsioonilistel vahvlite hoidmismeetoditel sageli probleeme tänapäevaste tootmisnõuete täitmisega. S......
Loe rohkemSöövitamine või söövitamine on pooljuhtide valmistamise, mikroelektroonika IC-tootmise ja mikro-/nanotootmisprotsesside oluline samm. See on fotolitograafiaga seotud esmane mustriprotsess. Kitsas tähenduses on söövitus sisuliselt fotolitograafiline söövitamine, kus esmalt valgustatakse fotolitograaf......
Loe rohkemRäninitriid (Si₃N4) on struktuurne keraamiline materjal, mille sisemine soojusjuhtivus on umbes 320 W/(m·K), millel on kõrge soojusjuhtivus ja silmapaistvad mehaanilised omadused. Tänu oma suurepärasele stabiilsusele ümbritseva õhu temperatuuril on Si₃N₄ muutunud laialdaselt kasutatavaks keraamilise......
Loe rohkemKvaliteetsete pooljuhtseadmete valmistamisel moodustatakse SiO₂-kiled tavaliselt substraadi pinnatöötluseks oksüdatsiooniprotsesside kaudu ning nende levinumate rakenduste hulka kuuluvad lisandite tõkkekihid, pinnaisolatsioonikihid, väravaoksiidikihid, väljaoksiidid ja kaitseoksiidid. Oksüdatsioonia......
Loe rohkemTehnoloogia arenguga on inimeste ellu integreerunud nutikad tooted, nagu mobiiltelefonid, arvutid, elektrisõidukid ja robotid. Need tooted sisaldavad suurt hulka pooljuhtkiipe ja kiibi valmistamiseks on vaja pooljuhtseadmeid, nagu söövitusmasinad, litograafiamasinad ja iooniimplantaatorid. Pooljuhts......
Loe rohkemKõrge eritakistusega ränivahvlid (HR-Si), nagu nimigi ütleb, on ülikõrge eritakistusega monokristalliline ränimaterjal. Täiustatud pooljuhtide tootmise valdkonnas on kõrgsageduskadu muutunud suureks väljakutseks tipptasemel kiibikujunduses. Tänu ülikõrgele takistusele on suure eritakistusega ränipla......
Loe rohkem