Kiire termiline lõõmutamine (lühendatult RTA või RTP) on kiire termilise töötlemise tehnoloogia pooljuhtide valmistamisel. Selle põhiprintsiibiks on vahvli pinna kiire kuumutamine suure intensiivsusega kiirgava soojusallika (nagu halogeenlambid, laserid, välklambid jne) abil, kuumutades vahvli ülilü......
Loe rohkemKolmanda põlvkonna pooljuhtide tööstuses toimub kiire võimsuse laienemine. Ränikarbiidi (SiC) ja galliumnitriidi (GaN) epitaksiprotsessid arenevad pidevalt kõrge temperatuuriga töökeskkondade, ülikõrge puhtusastmega toorainete ja miniatuursete kiibiseadmete suunas. Sellegipoolest kipuvad tavalised k......
Loe rohkemPooljuhtide valmistamisel hõlmab oksüdeerimine vahvli asetamist kõrge temperatuuriga keskkonda, kus hapnik voolab üle vahvli pinna, moodustades oksiidikihi. See kaitseb vahvlit keemiliste lisandite eest, takistab lekkevoolu sattumist vooluringi, hoiab ära difusiooni ioonide implanteerimise ajal ja h......
Loe rohkemSemicorex pakub täiustatud TaC-kattega grafiitvahvelsusceptoreid, mis on loodud nõudlike pooljuhtprotsesside jaoks, mis nõuavad suurepärast termilist stabiilsust, keemilist vastupidavust ja täpset vahvlitoe jõudlust. Kuna pooljuhtide tootjad jätkavad järgmise põlvkonna seadmete arendamist, aitavad ......
Loe rohkemFookusrõngad on täpsed rõngakujulised osad, mis paigaldatakse tavaliselt plasmasöövitusseadmete vahvlipadruni ümber ja puutuvad söövitusprotsessi ajal kokku suure energiaga plasmaga. Nende põhiülesanne on toimida ohverdavate osadena, et tagada ühtlased söövitustulemused kogu vahvli pinnal. Servaefek......
Loe rohkemVahvlite hoidmise tehnoloogia stabiilsus ja täpsus, mis on pooljuhtide tootmise asendamatu südamik, mõjutavad otseselt kiibi tootmise efektiivsust ja valmisseadme kvaliteeti. Vaakumpadrunid ja elektrostaatilised padrunid on kaks peamist vahvlihoidmislahendust pooljuhtide tootmiseks. Kuigi mõlemad ku......
Loe rohkem