Täpsusega keraamilised osad on põhiseadmete võtmekomponendid pooljuhtide tootmise võtmeprotsessides, näiteks fotolitograafia, söövitus, õhuke kilede sadestumine, ioonide implantatsioon, CMP jne, näiteks laagrid, juhtrööpad, vooderdised, elektrostaatilised käitlemisvarred jne.
Loe rohkem