Kuivsöövitus on mikroelektro-mehaaniliste süsteemide tootmisprotsesside põhitehnoloogia. Kuivsöövitusprotsessi jõudlus avaldab otsest mõju pooljuhtseadmete struktuurilisele täpsusele ja töövõimele. Söövitusprotsessi täpseks juhtimiseks tuleb pöörata suurt tähelepanu järgmistele põhilistele hindamisp......
Loe rohkemRänikarbiidi aerostaatiline liugtee on täiustatud juhtteede süsteem, mis ühendab ränikarbiidi materjaliomadused ja aerostaatilise tehnoloogia. Ränikarbiidist aerostaatilist liugurit kasutatakse laialdaselt sellistes valdkondades nagu tipptasemel tootmine ja teaduslikud uurimisinstrumendid, mis on op......
Loe rohkemRänikarbiidi monokristallide valmistamise peamine meetod on füüsikalise aurutranspordi (PVT) meetod. See meetod koosneb peamiselt kvartstoru õõnsusest, kütteelemendist (induktsioonmähis või grafiidist küttekeha), grafiit-süsinikvildist isolatsioonimaterjalist, grafiittiiglist, ränikarbiidi seemnekri......
Loe rohkemSOI, lühend sõnadest Silicon-On-Isolator, on pooljuhtide tootmisprotsess, mis põhineb spetsiaalsetel alusmaterjalidel. Alates selle industrialiseerimisest 1980. aastatel on sellest tehnoloogiast saanud täiustatud pooljuhtide tootmisprotsesside oluline haru. SOI-protsess erineb ainulaadsest kolmekihi......
Loe rohkemElektrostaatiline padrun täidab pooljuhtide tootmise valdkonnas mitmeid funktsioone, nagu ühtlane elektrostaatiline lahendus, soojusjuhtivus ja vahvlite adsorptsioon ja fikseerimine. ESC üks põhifunktsioone on stabiilne plaatide adsorbeerimine äärmuslikes töötingimustes, nagu kõrgvaakum, tugev plasm......
Loe rohkem