Räninitriid (Si₃N4) on struktuurne keraamiline materjal, mille sisemine soojusjuhtivus on umbes 320 W/(m·K), millel on kõrge soojusjuhtivus ja silmapaistvad mehaanilised omadused. Tänu oma suurepärasele stabiilsusele ümbritseva õhu temperatuuril on Si₃N₄ muutunud laialdaselt kasutatavaks keraamilise......
Loe rohkemKvaliteetsete pooljuhtseadmete valmistamisel moodustatakse SiO₂-kiled tavaliselt substraadi pinnatöötluseks oksüdatsiooniprotsesside kaudu ning nende levinumate rakenduste hulka kuuluvad lisandite tõkkekihid, pinnaisolatsioonikihid, väravaoksiidikihid, väljaoksiidid ja kaitseoksiidid. Oksüdatsioonia......
Loe rohkemTehnoloogia arenguga on inimeste ellu integreerunud nutikad tooted, nagu mobiiltelefonid, arvutid, elektrisõidukid ja robotid. Need tooted sisaldavad suurt hulka pooljuhtkiipe ja kiibi valmistamiseks on vaja pooljuhtseadmeid, nagu söövitusmasinad, litograafiamasinad ja iooniimplantaatorid. Pooljuhts......
Loe rohkemKõrge eritakistusega ränivahvlid (HR-Si), nagu nimigi ütleb, on ülikõrge eritakistusega monokristalliline ränimaterjal. Täiustatud pooljuhtide tootmise valdkonnas on kõrgsageduskadu muutunud suureks väljakutseks tipptasemel kiibikujunduses. Tänu ülikõrgele takistusele on suure eritakistusega ränipla......
Loe rohkemFookusrõngas, mida nimetatakse ka kompensatsioonirõngaks või sulgemisrõngaks, on söövitusseadmete, eriti plasma kuivsöövitusseadmete asendamatu komponent. Nanomastaabis täppissöövitusprotsesse tänapäevases pooljuhtide tootmises ei oleks ilma selleta võimalik saavutada. Fookusrõnga kasutamine tagab s......
Loe rohkemTäpselt reguleerides kütte- ja jahutusprofiile, võib lõõmutamisprotsess aktiveerida lisandiaatomeid, parandada võre kahjustusi, leevendada sisemist pinget ja parandada vahvlite elektrilist töökindlust. Need kriitilised jõudluse täiustused loovad tugeva aluse järgnevaks vahvlite töötlemiseks, mis on ......
Loe rohkem