Semicorex Ceramic, mida kasutatakse pooljuhtide töötlemisel

Tehnoloogia arenguga on inimeste ellu integreerunud nutikad tooted, nagu mobiiltelefonid, arvutid, elektrisõidukid ja robotid. Need tooted sisaldavad suurt hulka pooljuhtkiipe ja kiibi valmistamiseks on vaja pooljuhtseadmeid, nagu söövitusmasinad, litograafiamasinad ja iooniimplantaatorid. Pooljuhtseadme avamisel selgub, et enamik selle komponentidest on keraamilised osad. Keraamilistel osadel on suurepärased omadused, nagu kõrge temperatuurikindlus, korrosioonikindlus, kõrge täpsus ja kõrge tugevus, mistõttu need sobivad hästi pooljuhtseadmetes kasutamiseks. Enamik keraamilisi osi, mis on pooljuhtide tootmisprotsesside põhikomponendid, puutuvad otse plaadiga kokku, võimaldades ülitäpset reguleerimist ning vahvli pinna temperatuuri kiiret kuumutamist ja jahutamist.

Pooljuhtkeraamilised osad kuuluvad täiustatud keraamika alla ja keraamiliste materjalide hulka kuuluvad tavaliselt alumiiniumoksiid, ränikarbiid, alumiiniumnitriid, räninitriid ja ütriumoksiid. Keraamiliste toodete vormimismeetodid hõlmavad tavaliselt kuivpressimist, lindivalu, survevalu, kuumisostaatilist pressimist, külm-isostaatilist pressimist, libisevat valamist, ekstrusioonvormimist, kuumvaluvalu, geelivalu ja otsest tahkumisvalu.

1. Kuivpressid

Kuivpressimine on pooljuhtkomponentide valmistamise tavaline protsess. See protsess hõlmab peamiselt sobiva osakeste suuruse jaotusega granuleeritud pulbri valamist metallvormiõõnde, avaldades survet survepeaga. Survepea liigub vormiõõnes, kandes survet pulbriosakestele ja tihendades neid, moodustades lõpuks kindla kuju ja tugevusega keraamilise tooriku.

2. Valamine

Valamine on märgvormimistehnoloogia, mis võimaldab ühe protsessiga toota keraamilisi toorikuid paksusega kümnetest mikromeetritest millimeetriteni. Hea viskoossuse ja dispersiooniga keraamiline suspensioon voolab valumasina lobri soonest aluspinnale. Puder läheb laiali ja pindpinevusel moodustub sileda pealispinnaga toorik. Toorik koos substraadiga saadetakse kuivatuskambrisse. Pärast lahusti aurustumist moodustab orgaaniline sideaine keraamiliste osakeste vahele võrgustiku, luues teatud tugevuse ja painduvusega tooriku. Kuivanud toorik kooritakse aluspinnalt maha ja rullitakse hilisemaks kasutamiseks kokku. Edasine töötlemine, nagu lõikamine, stantsimine ja augustamine, millele järgneb põletamine, lõpetab toote tootmisprotsessi.

3. Pritsevormimine

Survevalu on uudne tehnoloogia keraamiliste osade valmistamiseks. Selle tootmisprotsess koosneb peamiselt neljast etapist: survematerjali ettevalmistamine, survevalu, sidumine ja paagutamine. Seda kasutatakse tavaliselt keeruka geomeetria ja erinõuetega väikeste keraamiliste osade valmistamiseks.

4. Isostaatiline pressimine

Isostaatpressimine hõlmab kuumisostaatilist pressimist ja külmisostaatilist pressimist. Isostaatiline pressimine võib rõhku edastada igast suunast, tagades nii lehtmaterjali tihenemise.

1) Kuum isostaatiline pressimise protsess

See meetod suurendab aatomite difusiooni kõrgel temperatuuril ja rõhul, põhjustades keraamikas olevate pooride migreerumist tera piiridele või tooriku pinnale, vähendades või kõrvaldades seeläbi poorsust. Kuum isostaatpressimisel kasutatakse õhukeseseinalisi eelpingestatud mähisseadmeid, mis võimaldavad ühtlast ja kiiret jahutamist, parandades oluliselt tootmise efektiivsust võrreldes loomuliku jahutamisega.

2) Külm-isostaatpressimise protsess

See meetod rakendab keraamika- või metallipulbrile 100–600 MPa toatemperatuuril või veidi kõrgemal temperatuuril (<93 ℃), et saada "roheline keha", mis seejärel paagutatakse lõpliku tugevuseni.

5. Slip Casting

Libisemine on keraamika suuremahulises tootmises laialt levinud vormimismeetod. See hõlmab suure tahke ainesisaldusega ja hea voolavusega läga süstimist poorsesse krohvivormi. Tänu poorse vormi kapillaarimemisele tõmbab vett vormi siseseina poolt suspensioonist välja, moodustades piki vormi seina tahkunud rohelist keha. Kui roheline keha on saavutanud teatud tugevuse, saab selle lahti võtta.

6. Ekstrusioonvormimine

Ekstrusioonvormimine hõlmab keraamilise pulbri, savi või orgaanilise sideaine ja vee segamist, korduvat sõtkumist, vaakumdegaseerimist ja vanandamist, et anda ekstrudeeritud rohelisele kehale hea plastilisus ja ühtlus. Seejärel pressitakse see ekstruudeerimiskruvi või -kolvi toimel läbi ekstruuderi otsiku juures oleva matriitsi, et saada soovitud toote kuju.

7. Kuumpressi valamine

Kuumpressivalamisel kasutatakse peamiselt parafiinvaha sulamist kuumutamisel ja tahkumist jahutamisel. Keraamiline pulber ja kuum parafiinvaha segatakse ühtlaselt, et moodustada voolav suspensioon. Teatud rõhu all süstitakse läga metallvormi, et moodustada roheline keha. Pärast jahutamist ja tahkumist roheline keha demonteeritakse ja eemaldatakse. Seejärel kärbitakse roheline keha, vahatatakse kõrgel temperatuuril ja lõpuks paagutatakse valmistoote saamiseks.

8. Geeli valamine

Geeli valamine hõlmab keraamilise pulbri dispergeerimist orgaanilist ainet sisaldavas lahuses, et valmistada suure kuivainesisaldusega suspensioon. Seejärel süstitakse see suspensioon kindla kujuga vormi. Spetsiifilistes katalüütilistes ja temperatuuritingimustes polümeriseerivad orgaanilised monomeerid, moodustavad geeli, tahkestavad suspensiooni in situ ja kuivavad, mille tulemuseks on suure tugevusega roheline keha.

9. Otsene tahkestusvalu

Otsene tahkestamise valamine on uudne meetod keraamiliste võrgusuuruste kolloidstruktuuride moodustamiseks. See meetod ühendab traditsioonilise keraamika tehnoloogia keemilise teooriaga, kasutades katalüsaatoreid või initsiaatoreid, et põhjustada suspensioonile lisatud orgaaniliste monomeeride ristsidumist, moodustades võrgustruktuuri, mis viib in situ tahkumiseni.

Semicorex pakub erinevaidkeraamilised komponendid. Kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega kindlasti ühendust.

Kontakttelefon # +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com