TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga.
Tantaalkarbiid (TaC) on ühend, mis koosneb tantaalist ja süsinikust. Sellel on metalliline elektrijuhtivus ja erakordselt kõrge sulamistemperatuur, mistõttu on see tulekindel keraamiline materjal, mis on tuntud oma tugevuse, kõvaduse ning kuuma- ja kulumiskindluse poolest. Tantaalkarbiidide sulamistemperatuur on sõltuvalt puhtusest umbes 3880 °C ja sellel on üks kahekomponentsete ühendite kõrgeimaid sulamistemperatuure. See muudab selle atraktiivseks alternatiiviks, kui kõrgemad temperatuurinõuded ületavad jõudlusvõimet, mida kasutatakse liitpooljuhtide epitaksiaalsetes protsessides, nagu MOCVD ja LPE.
Semicorex TaC Coatingi materjaliandmed
|
Projektid |
Parameetrid |
|
Tihedus |
14,3 (gm/cm³) |
|
Emissiivsus |
0.3 |
|
CTE (× 10-6/K) |
6.3 |
|
Kõvadus (HK) |
2000 |
|
Takistus (oomi-cm) |
1 × 10-5 |
|
Termiline stabiilsus |
<2500 ℃ |
|
Grafiidi mõõtmete muutus |
-10–20 um (võrdlusväärtus) |
|
Katte paksus |
≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um) |
|
|
|
|
Ülaltoodud on tüüpilised väärtused |
|
Semicorex TaC Coated Components in Epitaxial Growth on hinnaline töödeldud osa, mis asub pooljuhtide epitaksiaalses protsessis õhu sisselaskeavas. Semicorex on tipptasemel ettevõte, mis on spetsialiseerunud CVD TaC kattetehnoloogiale Hiinas ja ekspordib tooteid üle maailma.*
Loe rohkemSaada päringTaC-ga kaetud seemnekristallide hoidja on suure jõudlusega komponent, mis on spetsiaalselt loodud pooljuhtmaterjalide kasvukeskkonna jaoks. Juhtiva TTaC-ga kaetud seemnekristallide hoidjate tootjana pakub semicorex teile tõhusaid põhikomponentide lahendusi tipptasemel pooljuhtide tootmise valdkonnas.
Loe rohkemSaada päringSemicorex TaC Coating Pedestal Supporter on kriitiline komponent, mis on loodud epitaksiaalsete kasvusüsteemide jaoks, mis on spetsiaalselt kohandatud reaktori pjedestaalide toetamiseks ja protsessi gaasivoolu jaotuse optimeerimiseks. Semicorex pakub suure jõudlusega, täpselt väljatöötatud lahendust, mis ühendab endas suurepärase struktuurilise terviklikkuse, termilise stabiilsuse ja keemilise vastupidavuse, tagades järjekindla ja usaldusväärse jõudluse täiustatud epitaksikarakendustes.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex CVD TaC Coated Susceptor on esmaklassiline lahendus, mis on loodud MOCVD epitaksiaalsete protsesside jaoks, pakkudes silmapaistvat termilist stabiilsust, puhtust ja korrosioonikindlust äärmuslikes protsessitingimustes. Semicorex keskendub täppisehituslikule katmistehnoloogiale, mis tagab ühtlase vahvlikvaliteedi, pikema komponendi eluea ja usaldusväärse jõudluse igas tootmistsüklis.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex TaC Coated Crucibles on suure jõudlusega mahutid, mis on mõeldud kasutamiseks äärmuslikel temperatuuridel ja sobivad nii metallide sulatamiseks kui ka täiustatud pooljuhtprotsessideks. Semicorexi valimine tähendab juurdepääsu tipptasemel kattetehnoloogiale ja inseneriteadmistele, mis tagavad erakordse puhtuse, vastupidavuse ja stabiilsuse ka kõige nõudlikumates keskkondades.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex TaC kaetud planetaarplaat on ülitäpne komponent, mis on loodud MOCVD epitaksiaalseks kasvuks, millel on mitme vahvlitaskuga planeetide liikumine ja optimeeritud gaasivoolu juhtimine. Semicorexi valimine tähendab juurdepääsu täiustatud kattetehnoloogiale ja inseneriteadmistele, mis tagavad pooljuhtide tööstusele erakordse vastupidavuse, puhtuse ja protsessi stabiilsuse.*
Loe rohkemSaada päring