TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga.
Tantaalkarbiid (TaC) on ühend, mis koosneb tantaalist ja süsinikust. Sellel on metalliline elektrijuhtivus ja erakordselt kõrge sulamistemperatuur, mistõttu on see tulekindel keraamiline materjal, mis on tuntud oma tugevuse, kõvaduse ning kuuma- ja kulumiskindluse poolest. Tantaalkarbiidide sulamistemperatuur on sõltuvalt puhtusest umbes 3880 °C ja sellel on üks kahekomponentsete ühendite kõrgeimaid sulamistemperatuure. See muudab selle atraktiivseks alternatiiviks, kui kõrgemad temperatuurinõuded ületavad jõudlusvõimet, mida kasutatakse liitpooljuhtide epitaksiaalsetes protsessides, nagu MOCVD ja LPE.
Semicorex TaC Coatingi materjaliandmed
Projektid |
Parameetrid |
Tihedus |
14,3 (gm/cm³) |
Emissiivsus |
0.3 |
CTE (× 10-6/K) |
6.3 |
Kõvadus (HK) |
2000 |
Takistus (oomi-cm) |
1 × 10-5 |
Termiline stabiilsus |
<2500 ℃ |
Grafiidi mõõtmete muutus |
-10–20 um (võrdlusväärtus) |
Katte paksus |
≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um) |
|
|
Ülaltoodud on tüüpilised väärtused |
|
Semicorex TaC kaetud grafiitpadrun on suure jõudlusega komponent, mis on loodud täpseks vahvlite käitlemiseks ja pooljuhtide tootmise kõrgtemperatuurilisteks protsessideks. Valige Semicorex selle uuenduslike ja vastupidavate toodete jaoks, mis tagavad optimaalse jõudluse ja pikaealisuse nõudlikes pooljuhtrakendustes.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex TaC ring on suure jõudlusega komponent, mis on loodud SiC monokristallide kasvatamiseks, tagades optimaalse gaasivoolu jaotuse ja temperatuuri reguleerimise. Valige Semicorex, et saada meie teadmisi täiustatud materjalide ja täppistehnoloogia vallas, pakkudes vastupidavaid ja usaldusväärseid lahendusi, mis suurendavad teie pooljuhtprotsesside tõhusust ja kvaliteeti.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex Tantalum Carbide Part on TaC-kattega grafiidikomponent, mis on loodud suure jõudlusega kasutamiseks ränikarbiidi (SiC) kristallide kasvatamise rakendustes, pakkudes suurepärast temperatuuri- ja kemikaalikindlust. Valige Semicorex usaldusväärsete ja kvaliteetsete komponentide jaoks, mis suurendavad pooljuhtide tootmisel kristallide kvaliteeti ja tootmise efektiivsust.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi tantaalkarbiidi rõngad on kriitilised komponendid, mida kasutatakse täiustatud pooljuhtide tootmisprotsessides. Oma erakordse kõvaduse, kõrge sulamistemperatuuri ja keemilise inertsuse poolest tuntud Semicorexi eesmärk on pakkuda tooteid, mis vastavad kõrgeimatele kvaliteedi- ja jõudlusstandarditele, tagades, et meie kliendid jäävad pooljuhtide tööstuse uuenduste esirinnas.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor on tantaalkarbiidiga kaetud grafiidist kandik, mida kasutatakse ränikarbiidi epitaksiaalsel kasvatamisel vahvli kvaliteedi ja jõudluse parandamiseks. Valige Semicorex selle täiustatud katmistehnoloogia ja vastupidavate lahenduste tõttu, mis tagavad suurepärased SiC epitaksia tulemused ja pikendatud sustseptori eluiga.*
Loe rohkemSaada päringTaC Coating Guide Rings on tantaalkarbiidkattega grafiitrõngas, mis on mõeldud kasutamiseks ränikarbiidist kristallide kasvatamise ahjudes, et parandada kristallide kvaliteeti. Valige Semicorex selle täiustatud kattetehnoloogia tõttu, mis tagab suurepärase vastupidavuse, termilise stabiilsuse ja optimeeritud kristallide kasvu.*
Loe rohkemSaada päring