TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga.
Tantaalkarbiid (TaC) on ühend, mis koosneb tantaalist ja süsinikust. Sellel on metalliline elektrijuhtivus ja erakordselt kõrge sulamistemperatuur, mistõttu on see tulekindel keraamiline materjal, mis on tuntud oma tugevuse, kõvaduse ning kuuma- ja kulumiskindluse poolest. Tantaalkarbiidide sulamistemperatuur on sõltuvalt puhtusest umbes 3880 °C ja sellel on üks kahekomponentsete ühendite kõrgeimaid sulamistemperatuure. See muudab selle atraktiivseks alternatiiviks, kui kõrgemad temperatuurinõuded ületavad jõudlusvõimet, mida kasutatakse liitpooljuhtide epitaksiaalsetes protsessides, nagu MOCVD ja LPE.
Semicorex TaC Coatingi materjaliandmed
Projektid |
Parameetrid |
Tihedus |
14,3 (gm/cm³) |
Emissiivsus |
0.3 |
CTE (× 10-6/K) |
6.3 |
Kõvadus (HK) |
2000 |
Takistus (oomi-cm) |
1 × 10-5 |
Termiline stabiilsus |
<2500 ℃ |
Grafiidi mõõtmete muutus |
-10–20 um (võrdlusväärtus) |
Katte paksus |
≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um) |
|
|
Ülaltoodud on tüüpilised väärtused |
|
TaC Coating Guide Rings on tantaalkarbiidkattega grafiitrõngas, mis on mõeldud kasutamiseks ränikarbiidist kristallide kasvatamise ahjudes, et parandada kristallide kvaliteeti. Valige Semicorex selle täiustatud kattetehnoloogia tõttu, mis tagab suurepärase vastupidavuse, termilise stabiilsuse ja optimeeritud kristallide kasvu.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi tantaalkarbiidi juhtrõngas on tantaalkarbiidiga kaetud grafiitrõngas, mida kasutatakse ränikarbiidist kristallide kasvatamise ahjudes seemnekristallide toetamiseks, temperatuuri optimeerimiseks ja kasvu stabiilsuse suurendamiseks. Valige Semicorex selle täiustatud materjalide ja disaini tõttu, mis parandavad oluliselt kristallide kasvu tõhusust ja kvaliteeti.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi tantaalkarbiidirõngas on tantaalkarbiidiga kaetud grafiitrõngas, mida kasutatakse ränikarbiidist kristallide kasvuahjudes juhtrõngana, et tagada täpne temperatuuri ja gaasivoolu reguleerimine. Valige Semicorex selle täiustatud kattetehnoloogia ja kvaliteetsete materjalide tõttu, mis pakuvad vastupidavaid ja usaldusväärseid komponente, mis suurendavad kristallide kasvu tõhusust ja toote eluiga.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex TaC kattega vahvlialus peab olema konstrueeritud vastu pidama väljakutsetele äärmuslikud tingimused reaktsioonikambris, sealhulgas kõrge temperatuur ja keemiliselt reageeriv keskkond.**
Loe rohkemSaada päringSemicorex TaC katteplaat paistab silma suure jõudlusega komponendina nõudlikes epitaksiaalsetes kasvuprotsessides ja edasistes pooljuhtide tootmiskeskkondades. Oma suurepäraste omadustega võib see lõppkokkuvõttes tõsta täiustatud pooljuhtide tootmisprotsesside tootlikkust ja kulutasuvust.**
Loe rohkemSaada päringSemicorex LPE SiC-Epi Halfmoon on epitaksimaailmas asendamatu vara, pakkudes tugevat lahendust kõrgete temperatuuride, reaktiivsete gaaside ja rangete puhtusnõuetega seotud väljakutsetele.**
Loe rohkemSaada päring