Tantaalkarbiidiga kaetud juhtrõngad

Juhtrõngad paigaldatakse tavaliselt soojusvälja süsteemis grafiittiigli kohale. Need töötavad koos tiigli, küttekeha ja soojusisolatsioonisilindriga ning muude pooljuhtkomponentidega, et juhtida ja kontrollida soojuse ja protsessigaaside jaotust.

AeeliseidTAntalum Karbiidkate

Tuntud suurepärase jõudluse poolestTaC kateKolmanda põlvkonna pooljuhtide ühekristallide kasvurakendustes pakub tantaalkarbiidkate järgmisi eeliseid:

1. Erakordne termiline stabiilsus

Tantaalkarbiidil on suurepärane soojustakistus ülikõrge sulamistemperatuuriga 3880 ℃. Selle erakordse termilise stabiilsusega Semicorexi tantaalkarbiidiga kaetud juhtrõngaid saab stabiilselt kasutada kõrgel temperatuuril alla 2500 ℃. Lisaks minimeerib nende kahe materjali kombinatsioon temperatuurimuutustest põhjustatud katte pragunemise ja koorumise riski, mis võimaldab märkimisväärselt komponendi struktuurset terviklikkust korduvate kuumutamis- ja jahutamisprotsesside käigus.

2.Märkimisväärne korrosioonikindlus

Tantaalkarbiidil on märkimisväärne korrosiooni- ja oksüdatsioonikindlus ning see on keemiliselt inertne enamiku reaktiivsete gaaside, nagu ammoniaak, vesinik ja räni, suhtes. Tänu sellele keemilisele stabiilsusele takistavad Semicorexi tantaalkarbiidiga kaetud juhtrõngad tõhusalt reaktiivsete gaaside maatriksi erodeerimist ja nende struktuurse terviklikkuse kahjustamist, vältides samal ajal ka saastumise ohtu kristallstruktuuri sattunud reagentidest ja lisanditest.

Semicorexi tantaalkarbiidiga kaetud juhtrõngaste jõudlus

Semicorextantaalkarbiidiga kaetud juhtrõngadkasutage maatriksina kõrge puhtusastmega grafiiti ja kandke pinnale TaC-kate CVD-tehnoloogia abil. Nende kahe materjali kombinatsioon võimaldab Semicorexi tantaalkarbiidiga kaetud juhtrõngastel pakkuda järgmisi eeliseid:

1.Gaasivoolu juhtimine ja vooluvälja optimeerimine

Kristallide kasvatamise ajal aitab juhtrõngaste kasutamine optimeerida voolu jaotust termilises väljas ning suunab reaktiivsed gaasid juhitava voolusuuna ja ühtlase jaotuse suunas. Tänu oma erilisele konstruktsioonile suudavad Semicorexi tantaalkarbiidiga kaetud juhtrõngad juhtida gaasi ühtlaselt voolama ja jaotuma, mis väldib tõhusalt liiga kõrget või madalat kohalikku gaasikontsentratsiooni.

2. Temperatuuri reguleerimine ja soojusvälja optimeerimine

Semicorex-tantaalkarbiidiga kaetud juhtrõngastel on suurepärane soojusjuhtivus, mis mängib olulist rolli temperatuurijaotuse reguleerimisel ja tagab kristallide kasvuks stabiilse temperatuurivälja. Näiteks Semicorexi tantaalkarbiidiga kaetud juhtrõngad võivad aidata säilitada temperatuurigradienti ränikarbiidi kristallide PVT kasvus, tagades materjalide lagunemise, transpordi ja kristalliseerumise sobivates tingimustes.