Semicorexi poorne tantaalkarbiidkeraamika on suure jõudlusega poorne keraamika, mis on loodud spetsiaalselt füüsilise aurutranspordi (PVT) protsessis. Selle eriline poorne struktuur ja suurepärased omadused mängivad olulist rolli kvaliteetse ränikarbiidi kristallide kasvu hõlbustamisel. Valides Semicorexi, saate täiustatud pooljuhtide tootmiseks ideaalsed poorsed keraamilised lahendused, millel on ühtlane kvaliteet ja stabiilne jõudlus.
Semicorexi poorne tantaalkarbiidkeraamika on ülikõrge temperatuuriga keraamiline materjal, mille sulamistemperatuur on umbes 3880 ℃, mis suudab tänu järgmistele suurepärastele jõudlusomadustele säilitada stabiilse jõudluse keerukates kõrge temperatuuri ja kõrge korrosiooniga töökeskkondades.
Semicorexi poorse maksimaalne töötemperatuurtantaalkarbiidkeraamikavõib olla kuni 3200 ℃ ja see võib töötada stabiilselt kõrgel temperatuuril ränikarbiidi kristallide kasvutingimustes pikka aega ilma deformatsiooni või pehmenemiseta.
Semicorexi poorsel tantaalkarbiidkeraamikal on parem korrosiooni- ja oksüdatsioonikindlus kui tavalisel keraamikal. See talub kristallide kasvuprotsessis tõhusalt kõrge temperatuuriga hapniku ja Si auru korrosiooni.
Semicorexi poorsel tantaalkarbiidkeraamikal on ühtlaselt jaotunud sisepoorid, poorsus vahemikus 10–60% (kohandatud) ja läbiv poorimäär üle 98%. See spetsiaalne struktuur võimaldab aurufaasilistel elementidel nagu Si ja C sujuvalt voolata ja difundeeruda kristallide kasvuahjus, hõlbustades oluliselt kvaliteetsete kristallide kasvu.
Ränikarbiidi kristallide kasvatamisel PVT-protsessi kaudu toimib Semicorexi poorne tantaalkarbiidi keraamika peamiselt aurufaasilise elemendi filtreerimise, ahju temperatuurigradiendi reguleerimise ja gaasimaterjali voolu juhtimisena. Erinevalt tavalistest poorsetest TaC-kattega grafiitmaterjalidest on Semicorexi poorsel tantaalkarbiidkeraamikal selged eelised: see eemaldab poorseTaC-kattega grafiitmaterjalide puuduseks on pinnakatte töötlemisest tingitud madal pooride läbilaskvus, vältides samal ajal poorsete TaC-ga kaetud grafiitmaterjalide valupunkti kattekihi koorumisel, mis ilmneb töö käigus. Kasutades Semicorexi poorset tantaalkarbiidi keraamikat, saate tõhusalt pärssida ränikarbiidi kristallide kasvu süsinikusisalduse defekte, parandades seeläbi oluliselt kristallide kasvu kvaliteeti ja toote saagist.