Uudised

Tipptasemel elektrostaatilise padruni pinnatöötlus

Elektrostaatiline padrun täidab pooljuhtide tootmise valdkonnas mitmeid funktsioone, nagu ühtlane elektrostaatiline lahendus, soojusjuhtivus ja vahvlite adsorptsioon ja fikseerimine. ESC üks põhifunktsioone on stabiilne plaatide adsorbeerimine äärmuslikes töötingimustes, nagu kõrgvaakum, tugev plasm......

Mis on dopinguprotsess?

Ülikõrge puhtusastmega vahvlite valmistamisel peavad vahvlid saavutama puhtusstandardi üle 99,999999999%, et tagada pooljuhtide põhiomadused. Paradoksaalne on see, et integraallülituste funktsionaalse konstruktsiooni saavutamiseks tuleb dopinguprotsesside kaudu lokaalselt vahvlite pinnale viia spets......

Keraamiline vaakumpadrun

Keraamilised vaakumpadrunid on valmistatud poorsetest keraamilistest materjalidest, millel on ühtlane pooride suuruse jaotus ja sisemine ühendus. Pärast lihvimist on pind sile ja õrn, hea tasapinnaga. Neid kasutatakse laialdaselt pooljuhtplaatide, nagu räni, safiir ja galliumarseniid, tootmisel.

Millistele näitajatele tuleks sobivate vahvlite valimisel tähelepanu pöörata?

Vahvlite valikul on oluline mõju pooljuhtseadmete arendamisele ja tootmisele. Vahvlite valimisel tuleks lähtuda konkreetsete rakendusstsenaariumide nõuetest ja seda tuleks hoolikalt hinnata, kasutades järgmisi olulisi mõõdikuid.

Silikoonkomponendid kuivsöövitamiseks

Kuivsöövitusseadmed ei kasuta söövitamiseks märgkemikaale. See juhib gaasilise söövitusaine kambrisse peamiselt väikeste läbivate aukudega ülemise elektroodi kaudu. Ülemise ja alumise elektroodi tekitatud elektriväli ioniseerib gaasilise söövitusaine, mis seejärel reageerib vahvlile söövitatava mate......

Erinevus näiv-, uurimis- ja tootmiskvaliteediga SiC substraatide vahel