Täpsusega keraamilised osad on põhiseadmete võtmekomponendid pooljuhtide tootmise võtmeprotsessides, näiteks fotolitograafia, söövitus, õhuke kilede sadestumine, ioonide implantatsioon, CMP jne, näiteks laagrid, juhtrööpad, vooderdised, elektrostaatilised käitlemisvarred jne.
Loe rohkemPooljuhtide tootmise esiotsa protsessis (FEOL) tuleb vahvlil olla erinevate protsesside töötlemisel, eriti vahvlit tuleb kuumutada teatud temperatuurini ja on ranged nõuded, kuna temperatuuri ühtlusel on väga oluline mõju toote saagikusele; Samal ajal peavad pooljuhtide seadmed töötama vaakumi, plas......
Loe rohkem