Robot End Effector

Semicorex on juhtiv sõltumatu omandis olev ränikarbiidiga kaetud grafiidi, täppistöötlusega kõrge puhtusastmega grafiidi tootja, mis keskendub ränikarbiidiga kaetud grafiidile, ränikarbiidi keraamikale ja MOCVP pooljuhtide tootmise valdkondadele. Meie Robot End Effectoril on hea hinnaeelis ja see hõlmab paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Robot End Effector on roboti käsi, mis liigutab pooljuhtplaate vahvlitöötlusseadmetes ja kandurites olevate positsioonide vahel. Robot End Effector peab olema mõõtude täpsusega ja termiliselt stabiilne, samas kui sellel peab olema sile, kulumiskindel pind, et vahvleid ohutult käsitseda ilma seadmeid kahjustamata või tahkeid osakesi tekitamata. Meie kõrge puhtusastmega ränikarbiidist (SiC) kate Robot End Effector tagab suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse ning vastupidava keemilise vastupidavuse.

Robot End Effectori parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC Î² faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	Î¼m	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusmahtuvus	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4p bend, 1300â)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300