Robot End Effector

Semicorex on juhtiv sõltumatu omandis olev ränikarbiidiga kaetud grafiidi, täppistöötlusega kõrge puhtusastmega grafiidi tootja, mis keskendub ränikarbiidiga kaetud grafiidile, ränikarbiidi keraamikale ja pooljuhtide tootmise MOCVP valdkondadele. Meie Robot End Effectoril on hea hinnaeelis ja see hõlmab paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Robot End Effector on roboti käsi, mis liigutab pooljuhtplaate vahvlitöötlusseadmetes ja kandurites asuvate positsioonide vahel. Robot End Effector peab olema mõõtudelt täpne ja termiliselt stabiilne, samas kui sellel peab olema sile, kulumiskindel pind, et vahvleid ohutult käsitseda ilma seadmeid kahjustamata või tahkeid osakesi tekitamata. Meie kõrge puhtusastmega ränikarbiidist (SiC) kate Robot End Effector tagab suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse ning vastupidava keemilise vastupidavuse.

Robot End Effectori parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300