Ränikarbiidist kambri kaas

Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatav ränikarbiidikambri kaas peab taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex on ränikarbiidiga kaetud grafiidisusceptori suurtootja ja tarnija Hiinas. Meie toodetel on hea hinnaeelis ja need hõlmavad paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks.

Saada päring

Tootekirjeldus

Ränikarbiidist kambri kaas, mida kasutatakse monokristallide kasvatamiseks või MOCVD-ks või vahvlite töötlemiseks, peab taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga (SiC) kaetud grafiitkonstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse ning vastupidava keemilise vastupidavuse. Need on vastupidavad, et kogeda lenduvate lähtegaaside, plasma ja kõrge temperatuuri kombinatsiooni.
Meie ränikarbiidist kambri kaas on loodud parima laminaarse gaasivoolu mustri saavutamiseks, tagades soojusprofiili ühtluse. See aitab vältida saastumist või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie ränikarbiidi kambri kaane kohta.

Ränikarbiidist kambri kaane parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300