Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega SiC keraamilised komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub vahvlitöötlemisseadmete kulumaterjalidest, nagu ränikarbiidist vahvlipaat, konsoollabad, torud jne Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitus või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) konstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
Konsoolne mõla →
Konsooli mõla on oluline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti difusiooni- või LPCVD-ahjudes selliste protsesside ajal nagu difusioon ja RTP.
Protsessi toru →
Protsessitoru on ülioluline komponent, mis on spetsiaalselt loodud erinevates pooljuhtide töötlemise rakendustes, nagu RTP, difusioon.
Vahvlipaadid →
Vahvelpaati kasutatakse pooljuhtide töötlemisel, see on hoolikalt välja töötatud, et tagada õrnade vahvlite ohutu hoidmine tootmise kriitilistes etappides.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorexil on ka keraamilised tooted alumiiniumoksiidist (Al2O3), räninitriidist (Si3N4), alumiiniumnitriidist (AIN), tsirkooniumoksiidist (ZrO2), komposiitkeraamikast jne.
Semicorexi Alumina Boat leiab oma niši pooljuhtide tööstuses, üldistes masinates ja kõrgtemperatuurilistes protsessides, mis on osutunud hädavajalikuks professionaalidele, kes otsivad usaldusväärsust ja täpsust.
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC keraamiline plaat pakub võrreldamatut jõudlust keskkondades, mis nõuavad kulumiskindlust, korrosioonikindlust ja stabiilsust kõrgel temperatuuril. See toode on mõeldud kasutamiseks voodriplaatide ja tugiosadena mitmesugustes nõudlikes rakendustes.
Loe rohkemSaada päringSemicorex AlN Ceramic Disc paistab silma kui erakordse võimekusega materjal, mida hinnatakse ainulaadse termiliste, mehaaniliste ja elektriliste omaduste kombinatsiooni poolest. Semicorexis oleme AlN keraamiliste ketaste tootmisel esirinnas, tagades, et need komponendid vastavad kaasaegse tehnoloogia ja tööstuslike rakenduste rangetele nõuetele.**
Loe rohkemSaada päringSemicorexi Si3N4 Sleeve on mitmekülgne ja suure jõudlusega materjal, mis pakub ainulaadset kombinatsiooni madalast tihedusest, suurepärasest kõvadusest, suurepärasest kulumiskindlusest ning erakordsest termilisest ja keemilisest stabiilsusest.**
Loe rohkemSaada päringSemicorexi poorse keraamilise vaakumpadruni põhifunktsioon seisneb selle võimes tagada ühtlane õhu- ja veeläbilaskvus, mis tagab pinge ühtlase jaotumise ja räniplaatide tugeva nakkumise. See omadus on jahvatamise ajal ülioluline, kuna see hoiab ära vahvli libisemise, säilitades seeläbi toimingu terviklikkuse.**
Loe rohkemSaada päringSemicorexi alumiiniumoksiidi toru on mitmesuguste tööstuslike rakenduste keskne komponent, mis on tuntud oma võime poolest taluda karmi keskkonda ja kõrgeid temperatuure.**
Loe rohkemSaada päring