SiC-kattega gaasi suunamise kettad

Semicorex on täiustatud pooljuhtmaterjalide ja tipptasemel tootmistehnoloogiate suurepärane näideSiC-kattegagaasi suunamise kettad on valmistatud täpselt kõrge puhtusastmega grafiidist, kuna nende maatriksid on tiheda SiC-kattega keemilise aurustamise teel. Gaasi suunamise kettad on mõeldud peamiselt reaktsioonigaasi ühtlaseks jaotamiseks üle vahvli pinna, et tagada täielikud reaktsioonid töötlemise ajal, hõlbustades seega ühtsete ja ühtlaste ühekristalliliste õhukeste kilede teket.

Semicorexi SiC-kattega gaasi suunamise ketaste eelised

1.Kõrge materjali puhtus

Semicorex järgib rangeid tootekvaliteedi standardeid alates hoolikast materjalivalikust. Tänu sellele tooraine rangele puhtuse kontrollile pakuvad Semicorexi SiC-ga kaetud gaasi suunamise kettad madalat lisanditesisaldust ja suurepärase puhtuse. See võib märkimisväärselt takistada metalliioonide ja muude saasteainete kahjustamist pooljuhtide epitaksiaalprotsessides.

2.Superior termiline stabiilsus

Nendes süsteemides kasutatavatel komponentidel peab olema erakordne termiline stabiilsus, kuna pooljuhtide epitaksiaalseadmed töötavad tavaliselt temperatuuril üle 1400 °C. See erakordne termiline stabiilsus tagab Semicorexi SiC-ga kaetud gaasi suunamise kettad, mis taluvad keerulisi kõrge temperatuuriga töötingimusi ja võivad tõhusalt ära hoida kõrgest temperatuurist põhjustatud lisandite vabanemist töötamise ajal, mis aitab tagada epitaksiaalsete vahvlite kvaliteedi ja tootlikkuse.

3.Märkimisväärne kõrge temperatuuri korrosioonikindlus

Kaitsmata grafiitmaatriksid on altid korrosioonile ja osakeste tekkele, mistõttu töödeldakse gaasi suunamise kettaid tavaliselt ränikarbiidkattega, et suurendada nende korrosioonikindlust. Tiheda SiC-kattega kaetud Semicorexi SiC-kattega gaasi suunamise kettad pakuvad suurepärast oksüdatsiooni- ja keemilise korrosioonikindlust, mis võimaldab neil pika kasutusea jooksul stabiilselt töötada isegi keerulistes kõrge temperatuuriga ja söövitavates töötingimustes.

4. Paindlikud kohandamisvõimalused

Semicorex on varustatud mitme täiustatud töötlemisseadmega, nagu CNC-töötlusseadmed, pinnalihvimismasinad ja ultrahelipuurimisseadmed, pakkudes kogenud töötlemisvõimalusi. Semicorex suudab pakkuda paindlikke kohandamisteenuseid vastavalt kliendi joonistele ning kohandada SiC-kattega gaasisuunamisketaste mõõtmeid, tolerantse, pinna tasasust, aukude läbimõõtu ja aukude vahesid, et tagada sujuv ühilduvus klientide epitaksiaalseadmetega.