Alumiiniumoksiidi vahvlite poleerimisplaadid

Semicorex alumiiniumoksiidi vahvel poleerimisplaadidon täppistöödeldud osad, mis on valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist isostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppistöötlusega. Need sobivad ideaalselt täppispoleerimiseks, kus on ranged nõuded pinna ülikõrge täpsuse ja tõhususe osas, eriti pooljuhtvahvlite poleerimiseks, sest alumiiniumoksiidi keraamikal on erakordsed füüsikalised ja keemilised omadused.

---

Pikk eluiga tagab suurepärase kulumiskindluse

Kõrge kulumiskindlus on ülitäpses töötlemises kasutatavate vahvlipoleerimisplaatide jaoks hädavajalik. Alumiiniumoksiidi keraamika Mohsi kõvadus on umbes 9, mis on teemandi ja ränikarbiidi järel teine, mis võimaldab pooljuhtvahvlite poleerimisel väikese kulumiskaoga pooljuhtvahvlite poleerimisel vastu pidada suure kiirusega ja suure koormusega hõõrdumise töötingimustele. Tänu suurepärasele kulumiskindlusele on alumiiniumoksiidivahvlite poleerimisplaatidel vastupidav kasutusiga, mis vähendab oluliselt seadmete väljavahetamise tõttu seiskamiste sagedust ning hooldus- ja asenduskulusid.

Erakordne termiline stabiilsus ja kõrge temperatuuritaluvus

AlumiiniumoksiidVahvlipoleerimisplaadid suudavad oma erakordse termilise stabiilsuse ja kõrge temperatuuritaluvuse tõttu säilitada oma füüsikalisi omadusi ja hõõrdumist 1000 ℃ kõrge temperatuuriga keskkondades. Need sobivad sagedase hõõrdumise põhjustatud kõrge temperatuuriga töötingimuste jaoks, vältides tõhusalt termilist deformatsiooni ja aidates kaasa püsiva poleerimispinna säilitamisele.

Usaldusväärne keemiline korrosioonikindlus

Alumiiniumoksiidi vahvlipoleerimisplaatidel on usaldusväärne keemilise korrosioonikindlus. Need taluvad enamikke happeid ja leeliseid, aga ka tavalisi CMP protsessis kasutatavaid keemilisi poleerimislahuseid. Keemiline korrosioon ei kahjusta nende pinna tasasust, mõjutades seega pooljuhtplaatide pinna kvaliteeti.

---

Semicorex Alumina vahvlipoleerimisplaatide kasutusalad

1. Pooljuhtvahvlite poleerimine

Alumiiniumoksiidi vahvlipoleerimisplaate kasutatakse laialdaselt räni, ränikarbiidi, safiiri ja erinevate vahvlialuspindade lihvimisel, töötlemata poleerimisel ja viimistluspoleerimiseks. Tänu ülimadalale karedusele ja nanomõõtmelise pinnatasasusele vastavad alumiiniumoksiidist vahvlipoleerimisplaadid ideaalselt kõrgetasemeliste pooljuhtprotsesside, nagu söövitus ja litograafia, pinnakvaliteedi nõuded.

2. Vahvlite hõrenemine ja servade poleerimine

Vahvlite vedeldamise käigus saab alumiiniumoksiidist vahvlite poleerimisplaate kasutada vahvli paksuse täpseks reguleerimiseks ja tagakülje materjalide ühtlaseks eemaldamiseks. Servade poleerimisprotsessis võivad alumiiniumoksiidi poleerimisplaadid aidata saavutada ka vahvli servade optimaalset kvaliteeti, kõrvaldades vahvli servadel olevad pursked ja defektid.