Alumiiniumoksiidi Chuck

Semicorex Alumina Chuck on pooljuhtide töötlemise nurgakivi tööriist, mis on hoolikalt valmistatud alumiiniumoksiidi keraamikast. Sellel spetsiaalsel materjalil on kaks erinevat sorti: kõrge puhtusastmega ja tavalised materjalid, millest igaühel on oma kasutusvõimalused ja omadused.

Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamika, mille Al2O3 sisaldus on 99,9% või rohkem, iseloomustab puhtuse ja vastupidavuse tipptaset. Paagutamistemperatuuridel vahemikus 1650–1990 °C moodustatud keraamika omab erakordseid valguse läbilaskvusomadusi lainepikkuste vahemikus 1–6 μm. Nende mitmekülgsus ulatub erinevatesse tööstusharudesse, alates plaatina tiiglite asendamisest sulaklaasi rakendustes kuni leeliste ja metallide, näiteks naatriumlampide, söövitavate jõudude vastupanu. Elektroonika valdkonnas leiavad nad otstarbe integraallülituste substraatide ja kõrgsageduslike isolatsioonimaterjalidena.

Teisest küljest hõlmab tavaline alumiiniumoksiidi keraamika kompositsioonide spektrit, sealhulgas 99%, 95%, 90% ja rohkem, mis on piiritletud nende vastava Al2O3 sisaldusega. See keraamika rahuldab paljusid vajadusi – 99 alumiiniumoksiidi kasutatakse kõrge temperatuuriga tiiglites, tulekindlates ahjutorudes ja kulumiskindlates komponentides, nagu keraamilised laagrid ja tihendid. Samal ajal paistab 95 alumiiniumoksiidi variant silma korrosioonikindluse ja kulumiskindluse poolest. Mõnel talgiga rikastatud koostisel on paremad elektrilised omadused ja mehaaniline tugevus, mis hõlbustab nende integreerimist elektrilistesse vaakumseadmetesse ja muudesse spetsiaalsetesse rakendustesse, kus tihendamine metallidega nagu molübdeen, nioobium ja tantaal on hädavajalik.

Alumiiniumoksiidi padrun, mis kehastab alumiiniumoksiidi keraamika vastupidavust ja mitmekülgsust, on pooljuhtide tootmises ülitähtis seade. Selle täppisehitus ja vastupidavus äärmuslikele tingimustele muudavad alumiiniumoksiidi padruni asendamatuks õrnade pooljuhtplaatide kinnitamiseks kriitilistes töötlemisetappides, tagades lõpptoodete terviklikkuse ja kvaliteedi.