Ränikarbiidist keraamilised vahvlipaadid

Premium materjali valik

Semicorexi ränikarbiidkeraamika suurepärased omadusedvahvlipaadidon tingitud kvaliteetsest toorainest. Pooljuhtkvaliteediga SiSiC materjalist ja CVD SiC kattega kaetud ränikarbiidist keraamilistel vahvelpaatidel on järgmised suurepärased omadused.

1. Ülikõrge puhtusastmega, metallist lisandivaba

Substraadi lisand: ＜100 ppm

CVD SiC katte lisandid: ＜1 ppm

2.Superior termiline stabiilsus

Ränikarbiidist keraamilised vahvelpaadid on võimelised töötama stabiilselt 1250 ℃ kõrge temperatuuri tingimustes, tagades minimaalse deformatsiooni- ja roomamiskindluse.

3. Kõrge mehaaniline tugevus

Ränikarbiidomab kõrget kõvadust ja kulumiskindlust, mis võimaldab Semicorexi ränikarbiidist keraamilistel vahvlitel vastu pidada kriimustustele, hõõrdumisele ja kahjustustele, toimides seega hästi pikaajalisel kasutamisel ja kahjustuste suhtes.

4.Erandlik korrosioonikindlus

Kuna ränikarbiid on vastupidav tugevate hapete ja leeliste korrosioonile, suudavad Semicorexi ränikarbiidist keraamilised vahvelpaadid säilitada oma struktuurse terviklikkuse ja funktsionaalse jõudluse isegi väga söövitavates töötingimustes.

Optimeeritud ehituskonstruktsioon

Semicorexi ränikarbiidist keraamilised vahvelpaadid on mõeldud partiide vahvlite töötlemiseks, nende optimeeritud struktuurne raamistik tagab stabiilse partii vahvlite toetamise ja ühtlase protsessi stabiilsuse iga vahvli jaoks.

1,3-postiline vertikaalne tugikonstruktsioon

Semicorexi ränikarbiidist keraamiliste vahvelpaatide vertikaalne struktuur võimaldab neil sujuvalt sobitada vertikaalsete ahjurakendustega. Selle struktuuriga võivad emicorex ränikarbiidist keraamilised vahvelplaadid hõlbustada protsessigaaside homogeenset ringlust ja soojusenergia ühtlast jaotumist kõrge temperatuuriga ahjus.

2. Ühtlaselt jaotunud pesad

Semicorexi ränikarbiidist keraamilised vahvelpaadid on varustatud mitmete täppistöödeldud pilusiputustega nende tugipostidel. Nende ühtlaselt asetsevad pilu pigistamised saavutavad sobiva piluvahe, mis võimaldab ränikarbiidist keraamilistel vahvlitel pooljuhtvahvlid kindlalt kinnitada, aidates seeläbi kaasa vahvlite termilise töötlemise tulemuste konsistentsi parandamisele.

Nii paljude suurepäraste jõudluste ja funktsioonidega Semicorexi ränikarbiidist keraamilisi vahvlipaate kasutatakse laialdaselt pooljuhtplaatide valmistamise põhiprotsessides, nagu oksüdatsioon, difusioon, ioonide implanteerimine ja kõrgtemperatuuriline lõõmutamine.