Poorne SiC vaakumpadrunid

Semicorex poorne SiCvaakumpadrunidon asendamatud komponendid, mida saab laialdaselt kasutada täiustatud pooljuhtide tootmisprotsessides, nagu vahvlite lahjendamine, kuubikuteks lõikamine, lihvimine, poleerimine, fotolitograafia, söövitamine. Nende adsorptsiooniplatvorm on valmistatud poorsest SiC keraamilisest plaadist, millel on arvukalt ühtlaselt jaotunud mikronimõõtmelisi poore. Semicorexi poorsed SiC vaakumpadrunid, millel on ühtlane pooride läbimõõt ja erakordne läbimiskiirus, tagavad vaakumtühjendamiseks sujuva gaasitee. Töötamise ajal tekib padruni ja vahvli vahel stabiilne ja ühtlane alarõhk, mis võimaldab ülitõhusat vaakumkinnitust ja pooljuhtplaatide vabastamist.

Semicorexi poorsete SiC vaakumpadrunite eelised 

1. Erakordne töötlemise täpsus

Täiustatud pooljuhtide valmistamisel töödeldud pooljuhtplaadid on äärmiselt õhukesed, nii et isegi kerge painutamine, vibratsioon või ebaühtlane kohalik pinge võib põhjustada vahvli purunemist, kõverdumist ja täpsuse vähenemist sellistes kriitilistes protsessides nagu litograafia. Semicorexpoorne SiCvaakumpadruneid töödeldakse ülitäpse lihvimise ja poleerimisega, saavutades täiusliku pinnakareduse Ra ＜ 0,1 μm. See võimaldab Semicorexi poorsetel SiC vaakumpadrunitel pakkuda optimeeritud tööpinda ülitäpse pooljuhtide tootmiseks.

2. Kõrge puhtus ja kõrge korrosioonikindlus

Täielikult rangetele pooljuhtide puhtusestandarditele vastamiseks toodab Semicorex kõrgel temperatuuril paagutamise teel kõrge puhtusastmega ränikarbiidi toorainest poorseid SiC vaakumpadruneid. See tagab, et padrunid on vabad osakestest ja levivast metallist saastumisest. Semicorexi poorsed ränikarbiidi vaakumpadrunid, mis saavad kasu ränikarbiidi suurepärasest keemilisest stabiilsusest, taluvad karmi korrosioonikeskkonda ega tekita täiendavaid kõrvalsaadusi, mistõttu sobivad need suurepäraselt kõrgekvaliteediliste puhaste pooljuhtide valmistamise protsesside jaoks.

3. Suurepärane vastupidavus ja pikaajaline stabiilsus

Tootmisliinides kasutatavad vaakumpadrunid peavad taluma tuhandeid adsorptsiooni- ja vabastamistsükleid, aga ka pikaajalisi temperatuurikõikumisi. See seab vaakumpadrunite materjalile väga kõrged nõuded. Semicorexi poorsetel SiC vaakumpadrunitel on silmapaistev materjali kõvadus ja kulumiskindlus ning stabiilne soojuspaisumine. Kõrge temperatuuriga tingimustes ei ilmne need roomamist ega jõudluse halvenemist, mis pikendab oluliselt nende kasutusiga ning vähendab komponentide hoolduse ja asendamise sagedust.