Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega SiC keraamilised komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub vahvlitöötlemisseadmete kulumaterjalidest, nagu ränikarbiidist vahvlipaat, konsoollabad, torud jne Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitus või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) konstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
Konsoolne mõla →
Konsooli mõla on oluline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti difusiooni- või LPCVD-ahjudes selliste protsesside ajal nagu difusioon ja RTP.
Protsessi toru →
Protsessitoru on ülioluline komponent, mis on spetsiaalselt loodud erinevates pooljuhtide töötlemise rakendustes, nagu RTP, difusioon.
Vahvlipaadid →
Vahvelpaati kasutatakse pooljuhtide töötlemisel, see on hoolikalt välja töötatud, et tagada õrnade vahvlite ohutu hoidmine tootmise kriitilistes etappides.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorexil on ka keraamilised tooted alumiiniumoksiidist (Al2O3), räninitriidist (Si3N4), alumiiniumnitriidist (AIN), tsirkooniumoksiidist (ZrO2), komposiitkeraamikast jne.
Semicorex SIC oksüdatsioonitoru on suure jõudlusega komponent, mida kasutatakse SIC-toru ahjudes täiustatud pooljuhtide termilise töötlemiseks. See on mõeldud pikaajaliseks stabiilsuseks äärmuslikes tingimustes. Valige Semicorex meie suurepärase materjali puhtuse, tiheda mõõtme kontrolli ja järjepideva toote kvaliteedi jaoks, aidates teil saavutada optimaalseid tulemusi igas kõrgtemperatuuril.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi alumiiniumoksiidi kinnituspõhiplaadid on suure jõudlusega keraamilise komponendi, mis on mõeldud täpseks vahvli käitlemiseks pooljuhtide tootmisel. Selle parem tugevus, isolatsioon ja termiline stabiilsus muudavad selle ideaalseks puhaste ruumide automatiseerimiskeskkondade nõudmiseks.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi räni karbiidi vaakum Chuck on suure jõudlusega vahvli käitlemislahus, mis on valmistatud poorsest räni karbiidist. See on spetsiaalselt konstrueeritud pooljuhtide vahvlite vaakum adsorptsiooniks kriitiliste protsesside ajal nagu kinnitus (vahatamine), hõrenemine, vahatamine, puhastamine, kuubikumine ja kiire termiline lõõmutamine (RTA). Valige Semicorex tasakaalustamata materiaalse puhtuse, mõõtmete täpsuse ja usaldusväärse jõudluse jaoks nõudlikes pooljuhtide keskkonnas.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi alumiiniumoksiidi robot Arm on suure jõudlusega keraamiline komponent, mis on mõeldud vahvli täpseks käitlemiseks pooljuhtide tootmisel. Selle parem tugevus, isolatsioon ja termiline stabiilsus muudavad selle ideaalseks puhaste ruumide automatiseerimiskeskkondade nõudmiseks.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi alumiiniumoksiidi keraamiline lõpp-efektor on täpsusega ehitatud komponent, mis on spetsiaalselt loodud usaldusväärseks ja saastumisvaba vahvli käitlemiseks pooljuhtide tootmises ja sellega seotud rakendustes.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex poorne sic chuck on suure jõudlusega keraamiline vaakumpruck, mis on mõeldud turvaliseks ja ühtseks vahvli adsorptsiooniks pooljuhtide töötlemisel. Selle konstrueeritud mikropoorne struktuur tagab suurepärase vaakumjaotuse, muutes selle ideaalseks täppisrakenduste jaoks.*
Loe rohkemSaada päring