Semicorex on teie partner pooljuhtide töötlemise täiustamisel. Meie ränikarbiidist katted on tihedad, kõrgele temperatuurile ja kemikaalidele vastupidavad, mida kasutatakse sageli kogu pooljuhtide tootmise tsüklis, sealhulgas pooljuhtvahvlite ja -plaatide töötlemisel ning pooljuhtide valmistamisel.
Kõrge puhtusastmega SiC keraamilised komponendid on pooljuhtide protsesside jaoks üliolulised. Meie pakkumine ulatub vahvlitöötlemisseadmete kulumaterjalidest, nagu ränikarbiidist vahvlipaat, konsoollabad, torud jne Epitaxy või MOCVD jaoks.
Pooljuhtprotsesside eelised
Õhukese kile sadestamise faasid, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemine, nagu söövitus või ioonimplantaat, peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust. Semicorex tarnib kõrge puhtusastmega ränikarbiidi (SiC) konstruktsiooni, mis tagab suurepärase kuumakindluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse ning ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse.
Kambrikaaned →
Kristallide kasvatamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavad kambrikaaned peavad taluma kõrgeid temperatuure ja tugevat keemilist puhastust.
Konsoolne mõla →
Konsooli mõla on oluline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti difusiooni- või LPCVD-ahjudes selliste protsesside ajal nagu difusioon ja RTP.
Protsessi toru →
Protsessitoru on ülioluline komponent, mis on spetsiaalselt loodud erinevates pooljuhtide töötlemise rakendustes, nagu RTP, difusioon.
Vahvlipaadid →
Vahvelpaati kasutatakse pooljuhtide töötlemisel, see on hoolikalt välja töötatud, et tagada õrnade vahvlite ohutu hoidmine tootmise kriitilistes etappides.
Sisselaskerõngad →
SiC-ga kaetud gaasi sisselaskerõngas MOCVD-seadmetega Ühendi kasvul on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis on äärmuslikes keskkondades väga vastupidav.
Fookusrõngas →
Semicorex tarnib ränikarbiidiga kaetud fookusrõngas on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks.
Vahvlipadrun →
Semicorexi ülitasapinnalised keraamilised vaakumvahvlipadrunid on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mida kasutatakse vahvlite käitlemise protsessis.
Semicorexil on ka keraamilised tooted alumiiniumoksiidist (Al2O3), räninitriidist (Si3N4), alumiiniumnitriidist (AIN), tsirkooniumoksiidist (ZrO2), komposiitkeraamikast jne.
Semicorex SiC Fin on kõrge puhtusastmega ränikarbiidist valmistatud keraamiline komponent, mis on täpselt konstrueeritud perforeeritud kettastruktuuriga tõhusaks gaasi- ja vedelikuvoolu juhtimiseks epitaksi- ja söövitusseadmetes. Semicorex pakub kohandatud ülitäpseid komponente, mis tagavad pooljuhtprotsesside keskkondades suurepärase vastupidavuse, keemilise vastupidavuse ja jõudluse stabiilsuse.*
Loe rohkemSaada päringSemicorexi täiustatud SiC vahvli lihvimisplaat on täppistöötlusosa pooljuhtplaatide pindade ülikõrge tasasuse saavutamiseks. Semicorexi SiC vahvlilihvimisplaadi valimine ületab suure jõudlusega tööriista valimise, vaid tagab optimaalse, täpse, stabiilse ja tõhusa lahenduse vahvlite lihvimiseks.
Loe rohkemSaada päringSemicorex SiC Wafer Cassette on kõrge puhtusastmega, täpselt konstrueeritud vahvlite käitlemise komponent, mis on loodud vastama täiustatud pooljuhtide tootmise rangetele nõuetele. Semicorex pakub lahendust, mis on loodud stabiilsuse, puhtuse ja täpsuse tagamiseks – tagades vahvlite ohutu, usaldusväärse transpordi ja töötlemise kõrgel temperatuuril ja ülipuhtas keskkonnas.*
Loe rohkemSaada päringSemicorex RB-SiC peegeldavad peeglid on optilised komponendid, mis on valmistatud reaktsiooni-paagutamisprotsessi käigus ränikarbiidist. Neil on suurepärane termiline stabiilsus, kõrge erijäikus ja suurepärane optiline jõudlus.
Loe rohkemSaada päringSemicorexi süsinikkeraamilised pidurikettad pakuvad erakordset pidurdustõhusust, termilist stabiilsust ja vastupidavust suure jõudlusega ja nõudlike rakenduste jaoks. Valige Semicorex täppiskonstrueeritud süsinikkeraamika tehnoloogia jaoks, mis tagab ülima töökindluse, kerge disaini ja ühtlase jõudluse ekstreemsetes tingimustes.*
Loe rohkemSaada päringKattega Semicorex Carbon Ceramic Composite CCB pidurid esindavad suure jõudlusega piduritehnoloogia tipptasemel, ühendades süsinikkeraamiliste materjalide erakordsed termilised ja mehaanilised omadused täiustatud kaitse ja vastupidavusega, mida pakuvad spetsiaalsed pinnakatted. Semicorexi valimine tähendab töökindluse, täpsuse ja suurepärase jõudluse valimist ka kõige nõudlikumates tingimustes – kus ühtlane pidurdusjõud, pikk kasutusiga ja ohutus on vaieldamatud.*
Loe rohkemSaada päring