> Tooted > Ränikarbiidiga kaetud > RTP kandja > RTP kandja MOCVD epitaksiaalseks kasvuks

Tooted

Uued tooted

RTP kandja MOCVD epitaksiaalseks kasvuks

Semicorex RTP Carrier for MOCVD epitaxial Growth sobib ideaalselt pooljuhtplaatide töötlemiseks, sealhulgas epitaksiaalseks kasvatamiseks ja vahvlite töötlemiseks. Süsinikgrafiit-sustseptoreid ja kvartstiigleid töödeldakse MOCVD-ga grafiidi, keraamika jne pinnal. Meie toodetel on hea hinnaeelis ning need katavad paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorex tarnib vahvlite toetamiseks kasutatavat MOCVD Epitaxial Growth jaoks mõeldud RTP kandjat, mis on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks. Protsessi keskmes on epitaksia sustseptorid esmalt sadestamiskeskkonnaga, nii et sellel on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus. SiC-ga kaetud kandjal on ka kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
Meie RTP kandur MOCVD epitaksiaalseks kasvuks on loodud parima laminaarse gaasivoolu mustri saavutamiseks, tagades termilise profiili ühtluse. See aitab vältida saastumist või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie MOCVD epitaksiaalse kasvu jaoks mõeldud RTP-kanduri kohta.

RTP kandja parameetrid MOCVD epitaksiaalse kasvu jaoks

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC Î² faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	Î¼m	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusmahtuvus	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4p bend, 1300â)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

RTP kandja omadused MOCVD epitaksiaalseks kasvuks

Kõrge puhtusastmega SiC kaetud grafiit
Suurepärane kuumakindlus ja termiline ühtlus
Peen SiC kristallkattega sileda pinna saavutamiseks
Kõrge vastupidavus keemilise puhastuse vastu
Materjal on disainitud nii, et ei tekiks pragusid ega kihistumist.