Semicorex RTP kandja on ränikarbiidiga kaetud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga, mis on tõesti stabiilne RTA, RTP või karmi keemilise puhastuse korral. Pooljuhtprotsessi keskmes, epitaksia sustseptorid, allutatakse esmalt sadestuskeskkonnale, seega on sellel kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus. SiC-ga kaetud kandjal on ka kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
â Kõrge puhtusastmega SiC kaetud grafiit
â Suurepärane kuuma- ja kemikaalikindlus
â Kõrge termiline ühtlus
â Suurepärane kulumiskindlus
Semicorex RTP Carrier for MOCVD epitaxial Growth sobib ideaalselt pooljuhtplaatide töötlemiseks, sealhulgas epitaksiaalseks kasvatamiseks ja vahvlite töötlemiseks. Süsinikgrafiit-sustseptoreid ja kvartstiigleid töödeldakse MOCVD-ga grafiidi, keraamika jne pinnal. Meie toodetel on hea hinnaeelis ning need katavad paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Loe rohkemSaada päring