Semicorex on MOCVD jaoks mõeldud ränikarbiidkattega grafiidisusseptori usaldusväärne tarnija ja tootja. Meie toode on spetsiaalselt loodud pooljuhtide tööstuse vajaduste rahuldamiseks vahvlikiibi epitaksiaalse kihi kasvatamisel. Toodet kasutatakse MOCVD keskplaadina, hammasratta või rõngakujulise disainiga. Sellel on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis muudab selle ideaalseks kasutamiseks äärmuslikes keskkondades.
Meie MOCVD jaoks mõeldud ränikarbiidist kattega grafiidisusseptoril on mitu põhifunktsiooni, mis eristavad selle konkurentidest. See tagab kõikidele pindadele kattekihi, vältides koorumist ja on kõrgel temperatuuril oksüdatsioonikindlusega, tagades stabiilsuse isegi kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C. Toode on valmistatud kõrge puhtusastmega CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes. Sellel on peente osakestega tihe pind, mis muudab selle väga vastupidavaks hapete, leeliste, soolade ja orgaaniliste reaktiivide korrosioonile.
Meie ränikarbiidist kattega grafiidist sustseptor MOCVD jaoks on loodud parima laminaarse gaasivoolu mustri saavutamiseks, tagades soojusprofiili ühtluse. See hoiab ära saastumise või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu.
Ränikarbiidist katva grafiidi sustseptori parameetrid MOCVD jaoks
CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid |
||
SiC-CVD omadused |
||
Kristalli struktuur |
FCC β faas |
|
Tihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Keemiline puhtus |
% |
99.99995 |
Soojusmahtuvus |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Youngi moodul |
Gpa (4p bend, 1300â) |
430 |
Soojuspaisumine (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
Ränikarbiidist katva grafiidisusseptori omadused MOCVD jaoks
- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aur-sadestamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut