MOCVD sustseptor epitaksiaalse kasvu jaoks

Semicorex on epitaksiaalse kasvu jaoks mõeldud MOCVD-susceptori juhtiv tarnija ja tootja. Meie toodet kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tööstuses, eriti vahvlikiibi epitaksiaalse kihi kasvatamisel. Meie sustseptor on mõeldud kasutamiseks MOCVD keskplaadina, hammasratta või rõngakujulise disainiga. Tootel on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis muudab selle stabiilseks äärmuslikes keskkondades.

Saada päring

Tootekirjeldus

Meie epitaksiaalse kasvu jaoks mõeldud MOCVD sustseptori üks eeliseid on selle võime tagada katmine kogu pinnale, vältides mahakoorumist. Tootel on kõrgel temperatuuril oksüdatsioonikindlus, mis tagab stabiilsuse kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C. Meie toote kõrge puhtus saavutatakse CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes. Peenosakestega tihe pind tagab toote kõrge vastupidavuse hapete, leeliste, soolade ja orgaaniliste reaktiivide korrosioonile.
Meie MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth on loodud parima laminaarse gaasivoolu mustri saavutamiseks, tagades termilise profiili ühtluse. See aitab vältida saastumist või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie epitaksiaalse kasvu jaoks mõeldud MOCVD sustseptori kohta.

MOCVD sustseptori parameetrid epitaksiaalse kasvu jaoks

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC Î² faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	Î¼m	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusmahtuvus	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4p bend, 1300â)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

MOCVD sustseptori omadused epitaksiaalseks kasvuks

- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aur-sadestamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut