SiC sustseptor MOCVD jaoks

Semicorex on MOCVD jaoks mõeldud SiC Susceptori juhtiv tootja ja tarnija. Meie toode on spetsiaalselt loodud pooljuhtide tööstuse vajaduste rahuldamiseks vahvlikiibi epitaksiaalse kihi kasvatamisel. Toodet kasutatakse MOCVD keskplaadina, hammasratta või rõngakujulise disainiga. Sellel on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis muudab selle ideaalseks kasutamiseks äärmuslikes keskkondades.

Saada päring

Tootekirjeldus

Meie SiC Susceptor for MOCVD on tippkvaliteediga toode, millel on mitu põhifunktsiooni. See tagab kattekihi kõikidele pindadele, vältides maha koorumist ja on kõrgel temperatuuril oksüdatsioonikindlusega, tagades stabiilsuse isegi kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C. Toode on valmistatud kõrge puhtusastmega CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes. Sellel on peente osakestega tihe pind, mis muudab selle väga vastupidavaks hapete, leeliste, soolade ja orgaaniliste reaktiivide korrosioonile.
Meie SiC Susceptor for MOCVD on loodud tagama parima laminaarse gaasivoolu mustri, tagades termilise profiili ühtluse. See hoiab ära saastumise või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu.

SiC Susceptori parameetrid MOCVD jaoks

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

SiC Susceptori omadused MOCVD jaoks

- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut