SiC kaetud MOCVD sustseptor

Semicorex on juhtiv SiC-kattega MOCVD-susceptori tootja ja tarnija. Meie toode on spetsiaalselt loodud pooljuhtide tööstusele, et kasvatada vahvlikiibile epitaksiaalset kihti. Kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga kaetud grafiitkandurit kasutatakse MOCVD keskplaadina hammasratta või rõngakujulise disainiga. Meie susceptorit kasutatakse laialdaselt MOCVD-seadmetes, tagades kõrge kuuma- ja korrosioonikindluse ning suurepärase stabiilsuse äärmuslikes keskkondades.

Saada päring

Tootekirjeldus

Meie SiC-kattega MOCVD Susceptori üks olulisemaid omadusi on see, et see tagab katte kogu pinnale, vältides mahakoorumist. Tootel on kõrgel temperatuuril oksüdatsioonikindlus, mis on stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C. Kõrge puhtus saavutatakse CVD keemilise aurustamise abil kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes. Tootel on peente osakestega tihe pind, mis muudab selle väga vastupidavaks hapete, leeliste, soolade ja orgaaniliste reaktiivide korrosioonile.
Meie SiC-kattega MOCVD Susceptor tagab parima laminaarse gaasivoolu mustri, mis tagab termilise profiili ühtluse. See aitab vältida saastumist või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu. Semicorex pakub konkurentsivõimelist hinnaeelist ja hõlmab paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Meie meeskond on pühendunud suurepärase klienditeeninduse ja toe pakkumisele. Oleme pühendunud sellele, et saada teie pikaajaliseks partneriks, pakkudes kvaliteetseid ja usaldusväärseid tooteid, mis aitavad teie ettevõttel kasvada.

SiC kaetud MOCVD sustseptori parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

SiC-kattega MOCVD sustseptori omadused

- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut